Hesper TO230R 12-дюймовая однопластинчатая система парогенерации пониженного давления на месте

12-дюймовая монолитная система мокрого окисления с декомпрессией на месте подходит для интегральных схем, силовых полупроводников, материалов подложек, научных исследований и других областей. Она имеет несколько конструкций с одной или несколькими полостями для удовлетворения различных потребностей клиентов, низкая стоимость, владения и низкие эксплуатационные расходы.

Технические характеристики

• Конструкция с 16 зонами нагрева обеспечивает превосходную однородность температурного поля.
• Конструкции с одной или несколькими полостями для удовлетворения различных потребностей клиентов.
• Низкая стоимость владения и низкие эксплуатационные расходы.
• Удобное взаимодействие человека и компьютера и система безопасности обеспечивают стабильность, безопасность и эффективность системы.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: кремнезем.

Применимый процесс: влажное окисление, скачок декомпрессии.

Применимая область применения: интегральные схемы, силовые полупроводники, материалы подложек, области научных исследований.