Hesper E230A 12-дюймовая система кремниевой эпитаксии при атмосферном давлении с одной пластиной

Hesper E230A подходит для 12-дюймового эпитаксиального выращивания кремния N/P. В продукте независимо разработана многоканальная и многозонная направляющая для воздухозаборника, многозонная система контроля температуры инфракрасного нагрева и имеется технология управления высокой чистотой камеры. и технология контроля однородности толщины пленки, все показатели продукта достигли передового уровня.

Технические характеристики

• Профессиональная конструкция воздушного потока и нагревательного поля обеспечивают превосходную производительность процесса.
• Эффективная конструкция трансмиссии позволяет увеличить производственные мощности.
• Конструкции, совместимые с одной, двумя и четырьмя полостями, могут удовлетворить различные потребности клиентов.

Размер пластины: 12 дюймов.

Нанесенный материал: кремний.

Применимый процесс: атмосферная эпитаксия кремния N&P.

Применимая область применения: силовой полупроводник, материал подложки, область научных исследований.