Esther E320A 8-дюймовая система кремниевой эпитаксии с одной пластиной при атмосферном давлении

Esther E320A в основном используется для эпитаксиальных процессов кремния диаметром 5, 6 и 8 дюймов. Машина способна выполнять процессы с высокой степенью автоматизации. Система в основном состоит из модуля передачи, модуля технологической камеры, модуля управления и т.д. Среди них технологический модуль является основой завершения процесса эпитаксиального роста кремния, в основном включая систему нагрева, систему камер и систему вращения. Усовершенствованная инфракрасная система контроля температуры может обеспечивать быстрый подъем, падение и стабильность температуры, таким образом. обеспечение повторяемости процесса и надежности оборудования. Стабильность, профессионально спроектированное поле воздушного потока и температурное поле обеспечивают хорошую однородность толщины, однородность удельного сопротивления, нулевые линии скольжения и низкую плотность дефектов эпитаксиальных пластин. Профессиональный модуль переноса обеспечивает хороший контроль частиц, при этом он совместим с пластинами различных размеров и обладает высокой стабильностью процесса.

Технические характеристики

• Передовая технология управления инфракрасным нагревом и конструкция нагревательного модуля эффективно улучшают качество пленкообразования.
• Профессиональная система передачи данных и технологический модуль, совместимые с различными технологическими приложениями.
• Удобное взаимодействие человека и компьютера и система безопасности для обеспечения стабильности, безопасности и эффективности системы.
• Он имеет две модели, однополостную и многополостную, которые могут удовлетворить потребности различных клиентов.

Размер пластины: 5, 6, 8 дюймов.

Применимые материалы: кремний.

Применимый процесс: атмосферная эпитаксия кремния N&P.

Применимая область применения: силовой полупроводник, материал подложки, область научных исследований.