Происхождение продукта: Шэньян, Китай
Пропускная способность: 50 комплектов
Система подготовки тонкопленочных аккумуляторов VGB-600-3HD может выполнять экспериментальные операции в перчаточном боксе и используется для подготовки однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптическая пленка, оксидная пленка, твердая пленка, пленка из ПТФЭ и т. д. Система оснащена тремя мишенными пистолетами и одним источником высокочастотного питания для нанесения покрытий на различные мишени. Радиочастотный источник питания можно подключить к любой целевой головке с помощью безобрывного переключателя.
Технические характеристики
- Система оснащена тремя мишенными пушками и одним источником ВЧ-питания для нанесения покрытий на различные мишени. Радиочастотный источник питания можно подключить к любой целевой головке с помощью безобрывного переключателя. (Целевой пистолет может быть заменен в соответствии с потребностями клиента).
- Можно получить разнообразные тонкие пленки для широкого спектра применений.
- Небольшой размер и простота в эксплуатации.
- Модульная конструкция всей машины; раздельная/раздельная конструкция вакуумной камеры, группы вакуумных насосов и источника питания управления, которые можно регулировать в соответствии с фактическими потребностями пользователей. (необязательный)
- Источник питания можно выбрать в соответствии с фактическими потребностями пользователя. Один источник питания может управлять несколькими целевыми орудиями, или несколько источников питания могут управлять одним целевым пистолетом.
- Экспериментальную операцию можно проводить в перчаточном боксе, а для экспериментов по нанесению покрытий можно заменять различные виды легко окисляемых мишеней.
Технические параметры
|
Наименование продукта |
VGB-600-3HD Тонкопленочная система подготовки аккумуляторов |
|
Модель продукта |
VGB-600-3HD |
|
Основные параметры (Спецификация) |
Трехголовочная магнетронная часть распыления: 1. Напряжение питания: 220 В, 50 Гц 2. Общая мощность: 2,5 кВт 3. Предел степени вакуума: E-6 мбар (E-3 мбар может быть достигнут при использовании с механическим насосным оборудованием нашей компании) 4. Температура нагрева: RT-500 °C, точность ±1 °C (температура может быть увеличена в соответствии с фактическими потребностями). 5. Количество орудий-мишеней: 3 шт 6. Способ охлаждения орудия-мишени: водяное охлаждение 7. Размер материала мишени: Ø2 дюйма, толщина 0,1-5 мм (разная толщина из-за разных материалов мишени) 8. Источник питания для распыления: 300 Вт (RF) / 500 Вт (DC) 9. Предметный столик: Ø140 мм 10. Скорость предметного столика: регулируется в пределах от 1 до 20 об/мин 11. Рабочий газ: Ar,N2 и другие инертные газы 12. Путь впуска воздуха: массовый расходомер контролирует 2 пути впуска воздуха, один из которых составляет 100SCCM, а другой - 200SCCM.
Часть перчаточного ящика: 1. Источник питания: однофазный переменный ток 110-220 В, 50 Гц / 60 Гц 2. Материал корпуса: нержавеющая сталь 304 3. Камера перчаточного ящика: 1220 мм × 760 мм × 900 мм 4. Передняя камера: есть 2 передние камеры, большая передняя камера Ø360 мм×600 мм и маленькая передняя камера Ø150 мм×300 мм. 5. Окружающая среда камеры: содержание воды <1 ppm (20 °C, 1 атм), содержание кислорода <1 ppm (20 °C, 1 атм) 6. Рабочий газ: N2, Ar, He и другие инертные газы 7. Контрольный газ: сжатый воздух или инертный газ 8. Восстановительный газ: смесь рабочего газа иH2 (если система очистки имеет функцию только удаления воды, восстановительный газ такой же, как и рабочий газ). 9. Система газоочистки: Немецкий раскисляющий материал BASF, американский высокоэффективный водопоглощающий материал UOP, автоматическое управление процессом регенерации системы очистки, функции автоматического удаления воды и кислорода, способные непрерывно поддерживать чистоту газа (на уровне воды <1 ppm и кислорода <1 ppm) в долгосрочной перспективе 10. Система контроля давления: давление воздуха в камере может автоматически контролироваться с помощью сенсорного экрана ПЛК, точность управления составляет ±1 Па, а также может управляться вручную с помощью ножного переключателя. 11. Система фильтрации: фильтры установлены на входе и выходе, а точность фильтрации составляет 0,3 мкм. 12. Система управления: цветной сенсорный экран SIEMENS (6 дюймов), система управления ПЛК, двуязычное переключение на китайском и английском языках * Датчик воды изготовлен под американским брендом GE, с сенсорным экраном 0-1000 ppm и точностью 0,1 ppm. * Трансмиттер кислорода использует американскую марку AII, с сенсорным дисплеем 0-1000 ppm и точностью 0,1 ppm. * Датчик давления использует американскую марку Setra, с сенсорным дисплеем -2500-2500 Па и точностью ±1 Па. 13. Вакуумный насос: британский бренд EDWARDS со скоростью откачки 8,4 м3 / ч-12 м3 / ч 14. Перчатки: американская марка NORTH (бутиловый синтетический каучук) 15. Система освещения: марка Philips (люминесцентная лампа) |
|
Размеры продукта |
Трехголовочная магнетронная часть распыления: 950 мм×460 мм×810 мм Часть перчаточного ящика: 2300 мм×1500 мм×1900 мм |
Гарантия
Ограничено одним годом с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения)
|
Модель: |
Стоимость: |
|
Установка для нанесения покрытий методом плазменного напыления с 3 источниками напыления и перчаточным ящиком
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support