Происхождение продукта: Шэньян, Китай
Пропускная способность: 50 комплектов
Устройство для нанесения магнетронного напыления с одной головкой VTC-600-1HD — это оборудование для нанесения покрытий в высоком вакууме, недавно разработанное нашей компанией, которое используется для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрическая пленка, оптическая пленка, оксидная пленка, жесткая пленка, пленка из ПТФЭ и т. д.
Устройство для нанесения магнетронного напыления с одной головкой VTC-600-1HD оснащено одним пистолетом-мишенью, позволяющим выбирать сильную магнитную мишень или слабую магнитную мишень.
Технические характеристики
- Он оснащен одним мишенным пистолетом, позволяющим выбрать один ВЧ-источник питания для напыления непроводящих материалов или один источник постоянного тока для напыления проводящих материалов.
- Можно получить разнообразные тонкие пленки для широкого спектра применений.
- Небольшой размер и простота в эксплуатации.
Технические параметры
|
Наименование продукта |
VTC-600-1HD Одноголовочный магнетронный распылитель |
|
Модель продукта |
VTC-600-1HD |
|
Условия установки |
Данное оборудование необходимо использовать на высоте не более 1000 м, при температуре 25°C±15°C и влажности 55%Rh±10%Rh.
1. Вода: оборудование оснащено самоциркуляционным водяным охладителем (заполнение чистой водой или деионизированной водой). 2. Электричество: переменный ток 220 В, 50 Гц, должно быть хорошее заземление. 3. газ: Камера оборудования должна быть заполнена аргоном (чистота 99,99% или более), а баллоны с аргоном (с двойными уплотнительными соединениями диаметром 6 мм) и редукционный клапан должны быть предоставлены пользователем. 4. Верстак: размер 1500×600×700 мм, нагрузка более 200 кг. 5. Устройство вентиляции: необходимо. |
|
Основные параметры (Спецификация) |
1. Напряжение питания: 220 В, 50 Гц. 2. Мощность: <1 кВт (не включая вакуумный насос) 3. Внутренний диаметр камеры: Ø300 мм. 4. Предел степени вакуума: 9,0×10-4Па. 5. Температура нагрева предметного столика: RT-500℃, точность ±1℃ (температура может быть увеличена в соответствии с фактическими потребностями). 6. Количество мишеней: 1 шт. (другое количество по запросу) 7. Способ охлаждения мишенного пистолета: водяное охлаждение. 8. Размер целевого материала: Ø2 дюйма, толщина 0,1-5 мм (разная толщина из-за разных целевых материалов). 9. Мощность распыления постоянного тока: 500 Вт; Мощность радиочастотного распыления: 300 Вт (Тип целевого источника питания не является обязательным: один источник постоянного тока или один источник радиочастотного питания.) 10. Стол для образцов: Ø140 мм, дополнительная функция напряжения смещения может быть установлена в соответствии с требованиями заказчика для достижения более высокого качества покрытия. 11. Скорость этапа отбора проб: регулируется в пределах 1-20 об/мин. 12. Рабочий газ: Ar и другие инертные газы. 13. Путь впуска воздуха: Массовый расходомер контролирует два канала впуска воздуха: один — 100SCCM, другой — 200SCCM. |
|
Размеры и вес продукта |
1. Размер основной машины: 500 мм×560 мм×660 мм 2. Габаритные размеры: 1300 мм×660 мм×1200 мм 3. Вес: 160 кг 4. Размер вакуумной камеры: φ300×300 мм |
|
Стандартные аксессуары |
1. Система управления питанием постоянного тока: 1 комплект (опционально) 2. Система управления радиочастотным питанием: 1 комплект (опционально) 3. Кулер для воды: 1 шт. 4. Полиэфирная полиуретановая труба (Ø6 мм): 4 м |
|
Дополнительные аксессуары |
1. Различные целевые материалы, такие как золото, индий, серебро, платина и т. Д. 2. Система контроля толщины пленки 3. молекулярный насос (импортируется из Германии) |
Гарантия
Ограничено одним годом с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения
|
Модель: |
Стоимость: |
|
Установка для нанесения покрытий магнетронно-плазменного напыления с одной головкой в высоком вакууме |
По запросу |
JoomShopping Download & Support