Высоковакуумная система CVD с двумя зонами нагрева 1200 ℃ оснащена трехканальным поплавковым расходомером, который позволяет точно подготовить смесь газов, необходимую для эксперимента. Другой манометр установлен на передней панели поплавкового расходомера для контроля давления газа и давления в смесительном баке.
Технические характеристики
Высоковакуумная система CVD с двумя зонами нагрева 1200 ℃ состоит из двухзонной трубчатой печи, трехканального поплавкового расходомера и высоковакуумного молекулярного насоса. Температура двух зон нагрева трубчатой печи регулируется независимо с помощью прецизионного прибора для контроля температуры. Регулируя температуру каждой температурной зоны, трубчатая печь может формировать два температурных градиента в зоне нагрева или длинную зону постоянной температуры. Каждая зона может быть отредактирована с помощью программы повышения и понижения температуры в 30 разделах с защитой от перегрева и короткого замыкания. Фланцы с обеих сторон трубы печи оснащены цифровым вакуумметром и механическим манометром давления, которые можно использовать для контроля атмосферы в трубе печи. В то же время трубчатая печь управляется с помощью сенсорного экрана высокой четкости true color, который прост в использовании. Даже непрофессионалы могут освоить использование прибора после простого обучения, что может значительно повысить эффективность вашего эксперимента.
Система также оснащена прецизионным молекулярным насосом, который позволяет достигать вакуума на уровне 1,0E-3па, что обеспечивает пользователям более чистую и строгую экспериментальную среду, чем обычные механические насосы.
Применение
Подходит для высокотемпературного спекания, отжига металла, контроля качества и т.д. В университетах, научно-исследовательских институтах, промышленных и горнодобывающих предприятиях, особенно для экспериментов CVD, требующих различных сред смешивания газов.
Технические параметры
|
Вакуумная трубчатая печь |
Модель |
CY-O1200-50IIT-3F-HV |
||
|
Материал трубки |
Кварц высокой чистоты |
|||
|
Диаметр трубки |
50 мм (опционально 60 мм, 80 мм, 100 мм) |
|||
|
Длина трубки |
1000 мм |
|||
|
Длина камеры печи |
440 мм |
|||
|
Длина зоны нагрева |
200 мм + 200 мм |
|||
|
Рабочая температура |
0～1100℃ |
|||
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
|||
|
Режим контроля температуры |
30- или 50-сегментный программный контроль температуры |
|||
|
Режим отображения |
ЖК-дисплей |
|||
|
Способ герметизации |
вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 |
|||
|
Фланцевый интерфейс |
Соединительный наконечник 1/4 ", соединение KF16/25/40 |
|||
|
Вакуум |
4.4E-3Pa |
|||
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
|||
|
Система подачи газа |
Модель |
CY-3F |
||
|
Газовый канал |
3-канальный |
|||
|
Измерительный блок |
Поплавковый расходомер газа |
|||
|
Диапазон измерения |
Канал: 0~ 100 мл газа H2 |
Примечания: Если вам нужны другие диапазоны или типы газа, вам необходимо указать при заказе. В соответствии с конкретными требованиями заказчика может быть выбран расходомер соответствующего типа и диапазона газа. |
||
|
Канал B: 16~ 160 мл газа N2 |
||||
|
Канал C: 25~ 250 мл Ar-газа |
||||
|
точность измерения |
±2.0% |
|||
|
Сопротивление давлению в трубе |
3 МПа |
|||
|
Разница в рабочем давлении |
50~300 кПа |
|||
|
Соединительная труба |
нержавеющая сталь 304 |
|||
|
Газовый канал |
игольчатый клапан из нержавеющей стали 304 |
|||
|
Спецификация интерфейса |
соединение режущей втулки 1/4 " для входа и выхода газа |
|||
|
Выхлопная система |
Модель |
CY-GZK103-B |
||
|
Молекулярный насос |
CY-600 |
|||
|
Резервный насос |
Роторно-лопастной насос |
|||
|
Скорость перекачки |
Молекулярный насос: 600Л/С |
Комплексная производительность перекачки газа: за 30 минут может достигать вакуума: 1,0 E-3Pa |
||
|
Роторно-лопастной насос: 1,1 л/С |
||||
|
Интерфейс перекачки |
KF40 |
|||
|
Интерфейс выхлопа |
KF16 |
|||
|
Измерение вакуума |
Составной вакуумметр: датчик сопротивления + датчик ионизации |
|||
|
Максимальный вакуум |
1.0E-5Pa |
|||
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
|||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-O1200-50IIT-3F-HV |
По запросу |
JoomShopping Download & Support