Данный продукт представляет собой усовершенствованную плазмой роторную систему химического осаждения из паровой фазы (rotating PECVD). Труба печи имеет конструкцию переменного диаметра. Средний диаметр трубы относительно толстый, и имеются перегородки для смешивания, которые могут многократно перемешивать порошок или частицы при вращении трубы печи.
Технические характеристики
Данный продукт представляет собой усовершенствованную плазмой роторную систему химического осаждения из паровой фазы (rotating PECVD). Труба печи имеет конструкцию переменного диаметра. Средний диаметр трубы относительно толстый, и имеются перегородки для смешивания, которые могут многократно перемешивать порошок или частицы при вращении трубы печи. Рабочая труба может непрерывно вращаться на 360 ° с помощью механической трансмиссии, так что материалы в трубе можно перемешивать для получения равномерного эффекта нагрева; оборудование также оснащено генератором плазмы, который соединен с трубой печи индуктивной связью, и генерируемая плазма может эффективно покрывать трубу печи, увеличивать энергию активации реагентов, снижать температуру реакции и повышать эффективность реакции. Оборудование оснащено трехходовым массовым расходомером и устройством для смешивания газов, которое может использоваться для подачи различных газов в трубу. В то же время оборудование оснащено высокопроизводительным механическим насосом, который может быстро откачивать воздух из трубы печи для создания вакуума; взаимодействие насоса и газового контура может обеспечить большее количество процессов CVD. Вращающееся устройство очень подходит для непрерывного нанесения покрытий и модификации порошковых материалов методом CVD в условиях, защищенных от атмосферных воздействий.
Технические параметры
|
Двухзонная трубчатая печь |
Модель продукта |
CY-O1200-60IIC-R |
|
Мощность оборудования |
3 кВт |
|
|
Материал труб печи |
Кварц высокой чистоты |
|
|
Размер трубы печи |
Φ60 * 420 + Φ100 * 360 + Φ60 * 420 мм (кварцевая гетероморфная трубка) |
|
|
Длина камеры печи |
440 мм |
|
|
Длина зоны нагрева |
200 мм + 200 мм |
|
|
Рабочая температура |
0～1150℃ |
|
|
Предельная температура |
1200℃ |
|
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
|
|
Тип термопары |
Термопара типа K |
|
|
Режим контроля температуры |
30-сегментный программный контроль температуры, самонастраивающийся параметр PID |
|
|
Режим отображения |
HD полноцветный ЖК-сенсорный экран |
|
|
Способ герметизации |
вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 |
|
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
|
|
Скорость вращения |
0 ~ 13 об/мин |
|
|
Угол наклона |
0~35° |
|
|
3-канальный массовый расходомер |
Модель продукта |
CY-3Z |
|
Количество газовых трактов |
3 канала |
|
|
Тип расходомера |
Массовый расходомер |
|
|
Диапазон измерений |
Канал A: 0 ~ 100 мкм; Канал B: 0 ~ 200 мкм; Канал C: 0 ~ 500 мкм |
|
|
Точность измерения |
±1.5% |
|
|
Разница в рабочем давлении |
0,1 ~ 0,5 МПа |
|
|
Интерфейс трубопровода |
Соединительный наконечник 1/4 дюйма |
|
|
Источник питания |
220В 50/60 Гц |
|
|
Вакуумная система |
Вакуумный насос |
Двухступенчатый роторно-лопастной насос |
|
Скорость откачки |
1,1 л /с |
|
|
Насосный порт |
KF16 |
|
|
Максимальный вакуум насоса |
10E-1Pa |
|
|
Источник питания |
220В 50/60 Гц |
|
|
Радиочастотный источник питания |
Частота сигнала |
13,56 МГц ± 0,005% |
|
Диапазон выходной мощности |
0 ~ 500 Вт |
|
|
Максимальная отраженная мощность |
100 Вт |
|
|
Радиочастотный выходной интерфейс |
50Ω, N-образный, внутренний |
|
|
Стабильность мощности |
≤5 Вт |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-O1200-60IIC-R |
По запросу |
JoomShopping Download & Support