Роторная печь для приготовления графена с одной зоной нагрева PECVD


Производитель: CY Scientific Instrument, Китай

0 USD

Данное оборудование представляет собой вращающуюся систему для приготовления графена с использованием плазмы. Оборудование состоит из механизма вращения и наклона, трубчатой печи с одной зоной нагрева, генератора плазмы, системы подачи газа с массовым расходомером и высоковакуумного молекулярного насоса.

Технические характеристики

Данное оборудование представляет собой вращающуюся систему для приготовления графена с использованием плазмы. Оборудование состоит из механизма вращения и наклона, трубчатой печи с одной зоной нагрева, генератора плазмы, системы подачи газа с массовым расходомером и высоковакуумного молекулярного насоса. По сравнению с другим оборудованием для приготовления графена, это оборудование может обеспечить более высокий фоновый вакуум, что может улучшить качество продукта; оно может использовать механизм вращения и наклона для обеспечения непрерывного производства и может обеспечить равномерное выращивание продуктов на поверхности образца частиц; генератор плазмы может значительно снизить температуру реакции и повысить эффективность реакции.

Технические параметры

Трубчатая печь с одной зоной нагрева

Модель продукта

CY-O1200-100IT

Материал трубы печи

Кварц высокой чистоты

Диаметр трубы

100 мм

Длина трубы печи

1500 мм

Длина камеры печи

440 мм

Длина зоны нагрева

400 мм

Головка зоны постоянной температуры

200 мм

Рабочая температура

0~1100℃

Точность контроля температуры

±1℃

Режим контроля температуры

30- или 50-сегментный программный контроль температуры

Режим отображения

HD полноцветный ЖК-сенсорный экран

Способ герметизации

вакуумный фланец из нержавеющей стали 304

Источник питания

Переменный ток: 220 В 50/60 Гц

Система радиочастотного вывода

Диапазон мощности

Регулируемая мощность 0 ~ 500 Вт

рабочая частота

13,56 МГц + 0,005%

Режим работы

Непрерывная производительность

Согласованный режим импеданса

Их можно подобрать, и свечение равномерно распределяется по всей трубе печи

Стабильность мощности

≤2 Вт

Нормальная рабочая отраженная мощность

≤3 Вт

Усиленная отраженная мощность

≤70 Вт

Гармонический компонент

≤-50dBc

Общая эффективность

≥70%

Коэффициент мощности

≥90%

Напряжение питания / частота

Однофазный переменный ток (187 В ~ 153 В) частотой 50/60 Гц

Режим управления

Внутренний контроль/аналоговый объем ПЛК/Связь по RS232/485

Настройки защиты питания

Защита от перегрузки по постоянному току, защита усилителя мощности от перегрева, защита от отраженной мощности

Способ охлаждения

Принудительное воздушное охлаждение

Зона накаливания

В режиме Ar радиочастотный источник питания и змеевик взаимодействуют с источником накала, заполняя трубу печи

Система подачи газа

Расходомер

Четырехканальный массовый расходомер

Диапазон расхода

Диапазон MFC1: 0 ~ 200 см, Диапазон MFC2: 0 ~ 200 см

Диапазон MFC3: 0 ~ 500 см, Диапазон MFC4: 0 ~ 500 см

Соответствует газам H2, CH4, N2, Ar.

Точность измерения

±1,5% F.S

Повторяемость

±0,2%FS

Линейная точность

±1%F.S.

Время отклика

≤4s

Рабочее давление

-0,15 МПа ~ 0,15 МПа

Управление потоком

Управление с сенсорным ЖК-экраном, цифровой дисплей, каждый газовый канал содержит игольчатый клапан для индивидуального управления.

Входной интерфейс

Она может быть соединена с трубой из нержавеющей стали с наружным диаметром 1/4 дюйма или 6 мм

Выходной интерфейс

Она может быть соединена с трубой из нержавеющей стали с наружным диаметром 1/4 дюйма или 6 мм

Способ подключения

Соединитель с двойным наконечником

Рабочая температура

5~45℃

Газовый премикс

Оснащена устройством предварительного смешивания газа

Вытяжная система

Модель продукта

CY-GZK103-A

Молекулярный насос

Турбомолекулярный насос

Вспомогательный насос

Двухступенчатый роторно-лопастной насос

Скорость перекачки

Молекулярный насос: 600Л /с

Комплексная производительность откачки: 30 минут, может достигать вакуума: 5 × 10E-3Pa

Роторно-лопастной насос: 1,1 л /с

Максимальный вакуум

5 × 10E-4Pa

Насосное отверстие

KF40

Интерфейс выхлопа

KF16

Измерение вакуума

Составной вакуумметр

Вращающееся и наклоняющее устройство

Диапазон скоростей

0-20 об/мин

Угол наклона

0-15°

Система подачи и приема материала

Автоматическая подача, автоматический сбор после наклона

 

Модель

Стоимость, доллары США

CY-O1200-100IT

По запросу

Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support