Технические характеристики
MBE-300 в основном использует цилиндрический корпус из нержавеющей стали 316, обработанный аргонно-дуговой сваркой, фланец на верхней части корпуса имеет размер CF250, возможно установка до 9 источников луча, система может быть оснащена многокаютными магнитно-отклоняющими электронными лучами по требованиям пользователя, подходит для выращивания образцов малого размера (соответствует флаговому держателю образцов).
Особенности продукта:
- Готовая, стабильная и экономически эффективная система;
- Модульная конструкция, гибкое сочетание источников печи, насосных установок и других компонентов, подходящих для различных требований;
- Может использоваться как самостоятельная система, а также может быть связана с другими системами сверхвысокого вакуума.
Технические параметры
|
MBE 300 |
Описание модуля |
Параметры конфигурации |
|
|
Камера для выращивания |
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Размер полости |
200 мм I.D |
||
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-10 мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 450 л/с + механический насос 10 м 3/ч |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик ионов + датчик Пирани |
||
|
Холодный экран с жидким азотом |
Опционально |
||
|
Ионный насос |
Необязательный |
||
|
Держатель образца |
Размер выборки |
Держатель образца флажкового типа |
|
|
Способ нагрева подложки |
Лучистое отопление |
||
|
Температура нагревателя подложки |
Комнатная температура-1200К |
||
|
Электронно- лучевой нагрев |
Опционально |
||
|
Нагрев постоянным током |
Опционально |
||
|
Холодильный модуль с жидким азотом |
Опционально |
||
|
Детали |
Конфигурация источника испарения |
4xDN40CF, 4xDN63CF, 1xDN100CF |
|
|
Перегородка с независимым источником испарения |
Пневматический привод |
||
|
QCM |
Стандартная конфигурация |
||
|
РИД |
15 кэВ-30 кэВ |
||
|
Источник ионов |
Опционально |
||
|
РГА |
Опционально |
||
|
|
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-8 мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 80Л/с + механический насос 10 м 3/ч |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик полного диапазона |
||
|
Компоненты |
Образец парковочной платформы |
6 или 12 станций |
|
|
Системная интеграция и контроль |
Программное обеспечение GUIDE |
Стандартная конфигурация |
|
|
Система выпечки |
Стандартная конфигурация |
||
|
Системный кронштейн |
Стандартная конфигурация |
||
|
Вакуумная система освещения |
Опционально |
||
|
Плазменная очистка |
Опционально |
||
|
ПЗС -камера |
Опционально |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Система молекулярно-лучевой эпитаксии MBE-300 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support