Технические характеристики
Установка Cubic 200 оборудована цельнолитой камерой кубической формы из нержавеющей стали марки 316, позволяющей монтировать до 3 источников излучения.
Четырехосевой манипулятор образцов может устанавливаться как в горизонтальном, так и в вертикальном положении, что оптимально для выращивания малоразмерных образцов (с использованием флаг-держателей).
Конструкция системы предусматривает множество фланцевых соединений, что делает её оптимальным решением для проведения научных исследований и отработки технологических процессов.
Особенности:
- Компактная, компактная система с высоким соотношением цена/качество;
- Камера из нержавеющей стали, изготовленная методом цельнолитой обработки, без сварных швов, что позволяет легко достичь сверхвысокого вакуума;
- Научно-исследовательское оборудование, подходящее для общего образования, позволяющее наглядно понять технологию молекулярно эпитаксиального наращивания.
Технические параметры
|
HMF-MBE 200 |
Описание модуля |
Параметры конфигурации |
|
|
Камера для выращивания |
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Размер полости |
200 мм I.D |
||
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-10 мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 300Л/с +10 м3/ ч механический насос |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик ионов + датчик Пирани |
||
|
Ионный насос |
Опционально |
||
|
Держатель образца |
Размер выборки |
Держатель образца флажкового типа |
|
|
Способ нагрева подложки |
Лучистое отопление |
||
|
Температура нагревателя подложки |
1200К |
||
|
Электроннолучевой нагрев |
Опционально |
||
|
Нагрев постоянным током |
Опционально |
||
|
Холодильный модуль с жидким азотом |
Опционально |
||
|
Компоненты |
Конфигурация источника испарения |
3xDN40CF |
|
|
Перегородка с независимым источником испарения |
Пневматический привод |
||
|
QCM |
Стандартная конфигурация |
||
|
Источник ионов |
Опционально |
||
|
РГА |
Опционально |
||
|
Комната для быстрых инъекций |
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-8 мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 80Л/с +10 м3/ ч механический насос |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик полного диапазона |
||
|
Компоненты |
Образец парковочной платформы |
6 или 12 станций |
|
|
Системная интеграция и контроль |
Программное обеспечение GUIDE |
Стандартная конфигурация |
|
|
Система выпечки |
Стандартная конфигурация |
||
|
Системный кронштейн |
Стандартная конфигурация |
||
|
Вакуумная система освещения |
Опционально |
||
|
Плазменная очистка |
Опционально |
||
|
ПЗС -камера |
Опционально |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Система молекулярно-лучевой эпитаксии Cubic-200 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support