Устройство для нанесения основы W-5600

Технические характеристики

Полностью автоматизированный, управляемый компьютером система нанесения покрытия на основание

• Монитор сетевого анализатора S&A 250B кристаллическая измерительная система
• Кварцевый контрольный кристалл вращается по тому же сферическому радиусу, что и устройства, на которые наносится покрытие, для точного контроля нанесения покрытия. (Патент № 6,090,444)
• За один и тот же цикл нанесения на каждую маску можно нанести покрытие различной толщины
• Механические узлы защищены от материала покрытия и легко снимаются для очистки
• Два источника накала, установленных на пружинах, увеличивают срок службы нити накала
• Низкопрофильный колпак в сборе, удобный доступ оператора
• Поддерживает различные системы маскировки
• Нагреватель подложки
• Радиочастотная плазменная бомбардировка
• Устройства нанесения покрытия: Oh, Hz, F2 или Si 02
• Быстрое время простоя насоса и высокая производительность системы
• Насос для черновой обработки с прямым приводом
• Крио- или диффузионный насос
• Механизм автоматического переворачивания маски
• Возможность нанесения двух металлических слоев в 3 слоя
• Нагреватель подложки
• Сетевой анализатор S&A 250B
• Плазменная очистка
• Фонарный столб
• Компьютер
• Система Windows®
• Системное программное обеспечение
• Принтер (опционально)

Технические параметры