Технические параметры
|
Процесс |
Озоление, удаление окалины, PR-полоса, плазменная очистка |
|
Размер подложки |
3D-материал для 1 кассеты ( макс. 8 дюймов) |
|
Ввод источника |
Насадка для душа |
|
Температура подложки |
RT |
|
Радиочастотная мощность |
2 кВт при частоте 13,56 МГц |
|
Предельное давление |
< 5,0×10-3 Торр |
|
Насос |
Сухой насос или роторный насос |
|
Подача газа |
Ar, O2, CF4 и т. д. |
|
Системный контроль |
Управление ПК |
|
Размер (Ш*Д*В) |
650 мм * 750 мм * 1600 мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
ASHER EURA-С |
По запросу |
JoomShopping Download & Support