Технические параметры
|
Процесс |
Озоление, удаление окалины, PR-полоса, плазменная очистка |
|
Размер подложки |
Размер до 12 дюймов |
|
Ввод источника |
Насадка для душа с двумя узорами |
|
Температура подложки |
Охлаждение или макс. 300 ℃ ( пластина) |
|
Радиочастотная мощность |
2 кВт при частоте 13,56 МГц |
|
Предельное давление |
< 5,0×10-3 Торр |
|
Насос |
Сухой насос или роторный насос |
|
Подача газа |
Ar, O2 и т. д. |
|
Равномерность осаждения |
≤ ±5 % |
|
Системный контроль |
Управление ПК |
|
Размер (Ш*Д*В) |
800 мм * 800 мм * 1150 мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
ASHER EURA-W |
По запросу |
JoomShopping Download & Support