RTP-Mini

Применение

Быстрый термический отжиг (БТО)
Быстрое термическое окисление (БТО)
Быстрое термическое нитридирование (БТН)
Быстрая термическая диффузия (БТД)
Отжиг в омическом контакте
Кристаллизация

Образец продукта

Si, сапфир, стекло, керамика и т. д.

Размер подложки

Размер до 3 дюймов или 50 мм * 50 мм

Держатель подложки

Кварц

Диапазон температур

150–1200 °C

Скорость нагрева

10–50 ℃/с

Зона контроля

1-Зона

Точность измерения температуры

≤ ±3℃

Повторяемость температуры

≤ ±3℃

Вакуум

Стандарт: атмосферное давление. Опция: 5,0E-3 торр

Подача газа

Опция: до 3 технологических газопроводов с цифровым расходомером MFC

Контроль

Ручное управление с помощью кнопки (с USB-портом для подключения)

Размер (Ш*Д*В)

400 мм * 500 мм * 270 мм или 650 мм * 450 мм * 250 мм

Вес

От 25 до 55 кг

Модель

Стоимость, доллары США

RTP-Mini

 По запросу