Технические параметры
|
Приложения |
SiO2, Si3N4, поликремний, легированный (N+, P+) кремнийосаждение |
|
Размер подложки |
От 4 до макс. 12-дюймовая пластина |
|
Выход продукта |
Макс. 50 пластин за раз |
|
Температура нагревателя |
Макс. 1250 ℃ |
|
Зона управления нагревателем |
От 1-й зоны до 3-й зоны |
|
Загрузочная станция |
Робот или кассета |
|
Предельное давление |
< 5,0E-3 Торр |
|
Вакуумный насос |
Сухой насос или роторный насос |
|
Контроль |
Управление с ПК (программное обеспечение UPRO) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Печь LPCVD (химическое осаждение из газовой фазы при низком давлении) PYRO-V |
По запросу |
JoomShopping Download & Support