Четыре источника высоковакуумного термического испарительного покрытия

Оборудование оснащено четырьмя комплектами вольфрамовых лодочных источников испарения и медным электродом с водяным охлаждением. Каждый источник испарения поддерживает большой ток 100 А и температуру нагрева 1800℃. Оно может обеспечивать многослойное покрытие или смешанное покрытие из нескольких материалов.

Технические характеристики

Данное оборудование представляет собой устройство для термического испарения с четырьмя источниками высокого вакуума. Оборудование имеет конструкцию вакуумной камеры с открывающейся спереди дверцей. Кроме того, камера увеличена до 500 мм. Расстояние между пробоотборником и источником испарения имеет больший диапазон регулировки, который может адаптироваться к различным потребностям в испарении. Это позволяет избежать повреждения образца высокой температурой источника испарения.

В камере установлена верхняя ступень для отбора проб, ступень для отбора проб можно поворачивать, нагревать и поднимать, а все операции можно интегрировать и управлять ими с помощью сенсорного экрана. Вакуумная система оборудования представляет собой двухступенчатую вакуумную систему, состоящую из двухступенчатого роторно-лопастного насоса и турбомолекулярного насоса, которые могут обеспечить чистую и безмасляную среду высокого вакуума. Оборудование оснащено системой пневматических клапанов. Благодаря автоматическому управлению операционной системой пользователь может выполнять такие операции, как вакуумная откачка одной кнопкой, непрерывное извлечение и размещение образца и полное отключение с сенсорного экрана.

Оборудование оснащено четырьмя наборами источников испарения из вольфрамовой стали и медным электродом с водяным охлаждением. Каждый источник испарения поддерживает большой ток 100А и температуру нагрева 1800 ℃. Она может наносить многослойное покрытие или смешанное покрытие из нескольких материалов.

Технические параметры