Устройство для нанесения покрытий методом высоковакуумного испарения с тремя источниками

Устройство для нанесения высоковакуумного покрытия с тремя источниками испарения - это устройство для нанесения высоковакуумного покрытия с тремя источниками испарения. В оборудовании используется конструкция вакуумной камеры типа передней дверцы, которая имеет большое пространство камеры и высокую расширяемость, что позволяет наносить испарительное покрытие на образцы разного стиля и большого размера.

Технические характеристики

Высоковакуумный распылитель с тремя источниками испарения - высоковакуумный распылитель с тремя источниками испарения. Оборудование имеет конструкцию вакуумной камеры с передней дверцей, которая имеет большое пространство камеры и высокую расширяемость, что позволяет покрывать испарением образцы разных стилей и больших размеров. Камера оснащена верхней ступенькой для отбора проб, а зажимные детали для крепления образца могут быть выбраны в соответствии со стилем отбора проб пользователем. Ступень для отбора проб вращается, нагревается, а все операции выполняются с помощью сенсорного экрана. Группа вакуумных насосов оборудования представляет собой двухступенчатую вакуумную систему, состоящую из биполярного роторно-лопастного вакуумного насоса и турбомолекулярного насоса, которые могут обеспечить чистую и безмасляную среду высокого вакуума для экспериментов по нанесению вакуумных покрытий; вакуумная система содержит комплектную систему пневматических клапанов, пользователи могут управлять одной кнопкой через сенсорный экран, выполняя такие операции, как вакуумное извлечение, непрерывный отбор проб и полное отключение.

Внедрение деталей высоковакуумных испарительных покрытий

В этом оборудовании используются три группы источников испарения: источники испарения в вольфрамовых лодках и медные электроды с водяным охлаждением, которые могут поддерживать максимальный ток 260А, а температура нагрева может достигать 1800℃. Он может осуществлять испарение различных тугоплавких металлов. Три группы являются независимыми источниками теплового испарения, не вызывают взаимного загрязнения материалов покрытия. Оборудование имеет интегрированную конструкцию, полость и электрическая управляющая часть разделены слева и справа, что обеспечивает разделение воды и электричества и эффективно обеспечивает безопасность пользователей. Электронная часть управления выполнена в виде комбинации сенсорного экрана и кнопочной панели. Вспомогательные функции, такие как вакуумная система и площадка для отбора проб, управляются одной кнопкой на сенсорном экране, а включение питания, испарение и регулировка толщины пленки управляются независимо через панель, что максимально удобно для пользователей одновременно. Исключите возможность неправильного использования. Оборудование имеет совершенный дизайн и отличную производительность и является обязательным для проведения высокоточных экспериментов по нанесению напыления в лабораториях.

Области применения 

Металлические и диэлектрические пленки

Производство тонкопленочных датчиков

Оптический элемент

Нано и микроэлектроника

Солнечная батарея

Технические параметры