Технические характеристики
В основном используется для нанесения покрытий на различные электрические пленки, металлические пленки, пленки SiO2 и т.д.
Технические параметры
|
Модель оборудования: YZ-700MS Машина для нанесения покрытий магнетронным напылением |
|
|
Размер полости вакуумной камеры φ700 мм*высота 500 мм |
Система вращения: 12-гранное устройство планетарного вращения |
|
Типы мишеней: Короткие прямоугольные / Круглые / Цилиндрические мишени |
Способ нагрева: Керамические нагреватели в защитной оболочке |
|
Типы источников питания: DC / MF / RF (13,56 МГц) |
Источник питания оборудования: трехфазный 380В 50 Гц |
|
Вакуумная система: биполярный роторно-лопастной насос+ Молекулярный насос |
Охлаждающая вода для оборудования:0,2-0,4Мпа |
|
Максимальный вакуум без нагрузки: 8.0х10 -5Па |
Оборудование для подачи сжатого воздуха: 0,4-0,8Мпа |
|
Вакуум для восстановления без нагрузки:3х10-3Па <= 10 минут |
Вес оборудования: приблизительно 2,0Т |
|
Размеры рабочей камеры, конфигурация мишеней и источников питания могут быть адаптированы в соответствии с технологическими требованиями заказчика. |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
YZ-700MS |
По запросу |
JoomShopping Download & Support