Лакировочная машина для магнетронного распыления YZ-600MS

Модель оборудования: Машина для нанесения покрытий с магнетронным напылением YZ-900MS

Размер полости вакуумной камеры:

φ 600mm*H500mm

Система вращения: Многопозиционное устройство планетарного вращения

Типы мишеней: Прямоугольные / Круглые / Цилиндрические мишени

Способ нагрева: Керамические нагреватели в защитной оболочке

Типы источников питания: DC / MF / RF (13,56 МГц)

Источник питания оборудования: трехфазный 380В 50ГЦ

Вакуумная система: биполярный роторно-лопастной насос + молекулярный насос

Охлаждающая вода оборудования:

0,2-0,4 Мпа

Предельный вакуум (без нагрузки) 8.0x10^-5 Па

Сжатый воздух оборудования: 0,4-0,8 Мпа

Вакуум для восстановления без нагрузки: 3х10 ^-3 Па <=10 мин

Вес оборудования: около 2,0 Т

Размеры рабочей камеры, конфигурация мишеней и источников питания могут быть адаптированы в соответствии с технологическими требованиями заказчика.

Модель

Стоимость, доллары США

YZ-900MS

По запросу