Технические характеристики
Использование продукта: этот продукт в основном ориентирован на производство силовых устройств SIC. Композитная пленка SIC/PI карбонизуется при температуре 600–1050°C в атмосфере азота. В процессе карбонизации наночастицы SIC взаимодействуют с PI, образуя химическую связь, что улучшает его термостойкость.
Функции:
- Интегрированная человеко-машинная операционная система, непрерывное автоматизированное производство, высокая эффективность работы, экономия затрат на рабочую силу, электроэнергию и время обработки;
- Нагрев FEC, быстрый подъем температуры и хорошая однородность;
- Изготовлен из высококачественной нержавеющей стали, поверхность физически и химически отполирована для обеспечения чистоты;
- Имеет функцию самоочистки - высокотемпературную очистку.
Категория: Полупроводниковое технологическое оборудование.
Технические параметры
|
Модель |
TASS15100D112-N0 |
TASS20100D112-N0 |
||||
|
Обращение с продуктами |
6/8-дюймовая пластина |
Пропускная способность |
100 шт. /трубка |
|||
|
Обогреватель |
Круглая нагревательная пластина FEC. |
|||||
|
Порт подачи |
2 |
Манипулятор |
1 |
|||
|
Температурный диапазон |
Температура длительного использования: 950℃, максимальная температура: 1200℃. |
|||||
|
Скорость нагрева |
＜8℃ /мин |
Скорость охлаждения |
＜7℃ /мин |
|||
|
Мощность нагрева |
30 кВт (одна печь) |
Температурная зона нагрева |
3 |
|||
|
Равномерность температуры печи |
±2℃ (постоянная температура 950 ℃) |
Термопара контроля температуры |
К выпускной |
|||
|
Метод контроля температуры |
SSR |
Программное управление |
P.I.D - регулятор |
|||
|
Материал полости печи |
Кварц |
Изоляционный материал |
Керамическое волокно |
|||
|
Контроль атмосферы |
Многоканальный расходомер регулирует приток воздуха, диапазон измерения расхода: 1) 0–150 л/мин азота 2) 0–40 л/мин кислорода |
Атмосфера |
N2 /О2 |
|||
|
Выхлопная система |
Установите вытяжную трубу вверху для выброса и утилизации отходящих газов. |
|||||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Полностью автоматическая вертикальная печь для нанесения композитного покрытия SIC. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support