Полностью автоматическая вертикальная печь отжига

Технические характеристики

Использование продукта: он используется в интегральных схемах IC, MEMS, силовых электронных устройствах, оптоэлектронных устройствах и других областях. Он в основном подходит для легирования, отжига и других процессов 6-, 8- и 12-дюймовых пластин.

Отжиг — это процесс, при котором инертный газ (N2) вводится в условиях средней и низкой температуры для устранения дефектов и повреждений решетки на границе раздела кремниевых пластин и оптимизации качества интерфейса кремниевой пластины.

Функции:

1. Интегрированная человеко-машинная операционная система, непрерывное автоматизированное производство, высокая эффективность работы, экономия затрат на рабочую силу, электроэнергию и время обработки.
2. Нагрев FEC, быстрый подъем температуры и хорошая однородность.
3. Изготовлен из высококачественной нержавеющей стали, поверхность физически и химически отполирована для обеспечения чистоты.

Категория: Полупроводниковое технологическое оборудование.

Технические параметры