Технические характеристики
Машина для очистки одиночных пластин QX-6800 предназначена для полупроводниковых пластин.
Машина для очистки одиночных пластин QX-6800 предназначена для полупроводниковых пластин. путем очистки химическим раствором можно эффективно удалить частицы, металлические загрязнители и другие органические вещества с поверхности пластины/эпитаксиальной пластины.
Преимущество продукта
Гибкий
Может обрабатывать пластины из различных материалов диаметром 4-6 и 6-8 дюймов.
Легко переключаться на обработку пластин разного размера, нет необходимости менять детали.
Полость для оборудования может быть спроектирована в соответствии с требованиями клиента.
Обработка химическим раствором
Отдельный возврат химического раствора для снижения затрат на заводскую обработку.
Программа
Обеспечивает хранение 10 технологических рецептов, каждый рецепт может быть настроен с помощью 20 пошаговых программ.
Высокая производственная мощность
Двойной роботизированный манипулятор обеспечивает очистку передней и задней стороны в одной полости, обеспечивает высокую эффективность и отсутствие перекрестного загрязнения.
Значительный очищающий эффект
Могу предоставить ноу-хау по уборке
Количество частиц пластины размером 0,2 мкм ≤ 30
Ионы металлов ≤ 5E10 атомов/см2
Несколько процессов подачи заявок
Применяется при окончательной очистке, предэпитаксиальной очистке, после очистки CMP и т. д.
Технические параметры
|
Модель |
QX-6800 |
|
Размер пластины |
4-6 дюймов, 6-8 дюймов |
|
Толщина пластины |
300 мкм-1200 мкм |
|
Количество полостей |
В соответствии с требованиями клиента.，До 12 полостей |
|
Размер и вес машины |
Согласно требованиям клиента |
|
Химический раствор |
Отдельный контроль, отсутствие перекрестного загрязнения. |
|
Контроль химических растворов |
Система точного контроля расхода форсунки химического раствора |
|
Функция чистки |
Оборудованная функция чистки ПВА в соответствии с требованиями клиента. |
|
Метод загрузки и разгрузки |
Автоматическое перемещение двойной руки робота |
|
Метод переноса пластин с помощью робота-манипулятора |
Керамическая вакуумная адсорбция / опора для кромки штифта |
|
Очистка патрона методом пластины |
Вакуумная адсорбция патрона / поддержка кромки штифта |
|
Сторона очистки пластин |
Передняя и задняя часть |
|
Сухой метод |
Центробежное обезвоживание |
|
Требование пластины |
Сушить в сухом виде |
|
Погрузочная платформа |
Кассета |
|
Номера кассет |
4 комплекта (2 загрузочные кассеты, 2 разгрузочные кассеты) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
QX-6800 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support