GNP CLEANER-428L

Технические характеристики

Этот уникальный очиститель пластин Post CMP интегрирован с двумя станциями для чистки двойными щетками компактной конструкции, что обеспечивает небольшую площадь и универсальность очистки (4 " ~ 8") пластин. Компактная конструкция.

• Применимый размер пластин : 100мм(4”) ~ 200мм(8”)
• Конфигурация: Автономная с 4 станциями очистки:
  Предварительная очистка распылителем DIW
  Чистка щеткой с двумя двусторонними роликами
  Отжим, ополаскивание, сушка с помощью выдува N2
• Размер очистителя: 1800 Ш, 970 Г, 1500 В мм
• Размер щетки: Ø38 (наружный диаметр) Ø18 (внутренний диаметр) 310 (L)мм
• Станция предварительной очистки: очистка распылением DIW и завеса DIW между станциями
• Станция роликовой щетки:
  Химикаты: 2 химических насоса (по 1 на камеру щетки), NH4OH (< 0,1 мас.%) или DIW
  Тип кисти : двойная сторона клей ПВА кисть
  Регулировка положения щетки: Осуществляется вручную (доступный диапазон зазоров между щетками: -1,5мм ~ 2мм)
  Скорость вращения : <±2% конечного значения диапазона измерений 30 ~ 400 об / мин
  Расход химикатов: < 1л/мин полной шкалы
  Максимальный расход: < 5Л / мин в полном объеме
• Отжимная станция:
  Скорость отжима: не более 2500 об / мин
  Ополаскивание DIW / Обдув N2 / Megasonic sweep
• Управление:
  Процесс: Очистка распылением / очистка двумя двусторонними щетками / отжимное полоскание насухо / С влажным вводом / без сушки
  Управление последовательностью: ПК и сенсорный монитор ПК, программируемая последовательность, сопоставимая с компьютерной сетью