GNP CLEANER-812L

Технические характеристики

Этот уникальный очиститель пластин Post CMP интегрирован с двумя станциями для чистки двойными щетками компактной конструкции, что обеспечивает небольшую площадь и универсальность очистки (8 ~ 12 дюймов) пластин.

• Применимый размер пластин: 200 мм (8 дюймов) и 300 мм (12 дюймов)
• Конфигурация: Автономная, с 4 станциями очистки, предварительной очисткой с помощью ножа DIW, очисткой двумя двусторонними роликовыми щетками и отжимом для сушки с помощью обдува N2 (опция: отдельный QDR)
• Размер очистителя: 1970 Ш, 975 Г, 1380 В мм
• Размер щетки: Ø70 (наружный диаметр) Ø32 (внутренний диаметр) 320 (L )мм
• Станция предварительной очистки: очистка распылением DIW и завеса DIW между станциями
• Станция роликовой щетки
  Химический состав : NH4OH(<1%) или DIW
  Тип щетки: Двусторонняя щетка из ПВА
  Скорость вращения : <±2% конечного значения диапазона измерений 30 ~ 300 об / мин
  Подача химикатов : 4 насадки и через щетку
  Доступные химические вещества : химической 2[NH4OH]
  Расход химикатов : < 1л/мин полномасштабной
  Максимальный расход : < 5л/мин полной шкалы
• Отжимная станция
  Скорость отжима: не более 2500 об / мин
  Промывка DIW / обдув N2 (опция: Megasonic sweep)
• Управление
  Процесс: Автоматическая загрузка пластин с автоматической последовательностью, увлажнение / сушка
  Управление последовательностью: ПК и сенсорный монитор ПК, программируемая последовательность, сопоставимая с компьютерной сетью