Платформа Pinnacle200 подходит для переработки 8-дюймовых пластин, PR Strip, B-clean, STD Clean, удаления оксидов, удаления металла, очистки H3PO4. Машина в основном состоит из модуля передачи, технологического модуля, системы подачи жидких лекарств, шкафа питания и т.д. Модуль переноса перемещает пластины в заданное положение и может одновременно переносить 50 пластин. Технологический модуль используется для очистки и травления, а модуль подачи химической жидкости используется для высокоточного дозирования, нагрева, подачи и т.д. и мониторинг концентрации.
Технические характеристики
- Обладает хорошим технологическим эффектом.
- Точный контроль соотношения компонентов жидкого лекарственного средства.
- Различные пропорции жидкости для расширения области применения.
- Точный контроль скорости травления.
- Превосходный эффект сушки.
Размер пластины: 8 дюймов.
Применимые материалы: фоторезист, монокристаллический кремний, оксид кремния, нитрид кремния, диэлектрическая пленка, металлическая пленка, нитрид титана, силицид.
Применимый процесс: предварительная очистка, очистка от обезжиривания, удаление нитрида кремния, Co, Ti, повторная очистка.
Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник, материал подложки, микродисплей на основе кремния.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Pinnacle200 8-дюймовый инструмент для мокрого стенда. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support