Оборудование для очистки деталей EPI Quartz

Технические характеристики

Это оборудование способно очищать все кварцевые компоненты, требующие очистки во время технического обслуживания. Для обработки мелких деталей в той же установке мы разработали специальные корзины, которые помещаются в особый резервуар для очистки.

Очистка осуществляется за счет химического воздействия на кварцевые детали.

Аппарат работает полностью автоматически: после загрузки деталей система готовит раствор из чистых химикатов в смесительном резервуаре. Последовательно выполняются различные этапы обработки и промывки, а завершается процесс сушкой с использованием горячей деионизированной воды (H₂O DI) и горячего азота (N₂), которые производятся непосредственно в установке с помощью специальных нагревателей.

Заправка химикатами

Заправка химикатами может осуществляться либо из централизованной системы подачи (CDS), либо из станции с бутылями — в зависимости от требований заказчика.

Каждая система проектируется индивидуально в соответствии с запросами клиента. Благодаря нашему опыту мы уже на первой встрече точно определяем потребности заказчика и предлагаем оптимальное решение для каждой задачи.

Варианты конфигураций.

Конфигурация системы может быть адаптирована в зависимости от типа кварцевых деталей, требующих очистки.

Перечень оборудования:

• Модель Athens: Система очистки кварцевого колпака (Quartz Bell Jar) для LPE 2061;
• Модель Cairo: Система очистки кварцевой камеры и комплектующих (Process Kit) для LPE 3061;
• Модель Manila: Система очистки кварцевой камеры LPE 3061, колпака LPE 2061 и комплектующих;
• Модель Monaco: Система очистки кварцевой камеры и комплектующих для ASM;
• Модель Nice: Система очистки кварцевого колпака LPE 2061, камеры ASM и комплектующих;
• Модель Piraeus: Система очистки кварцевого колпака и комплектующих для LPE 2061 или AMC 7810-7820;
• Модель Agrigento: Система очистки камеры LPE 3061, мелких деталей, колпака и кварцевых трубок;
• Модель Sunnyvale: Система очистки кварцевых камер LPE 3061, ASM и комплектующих.

Каждая модель разработана для эффективного и автоматизированного удаления загрязнений с использованием химической обработки и последующей сушки.

Все оборудование SPM управляется с помощью PLC и сенсорного экрана, который контролирует работу всей системы.

Программное обеспечение разработано инженерами SPM с современным интерфейсом и расширенным функционалом, включая:

• Управление рецептами;
• Ведение журналов данных: в реальном времени и архивных;
• Прямое управление приборами и клапанами (P&I control) для обслуживания;
• Интерфейс SECS/GEM для связи с хост-системой (опционально).

Все установки производятся в соответствии с нормами безопасности CE.