Обзор продукта
Лучшая в своем классе производительность измерений при высоком уровне автоматизации в лаборатории*
Зондовая станция CM300xi решает задачи измерений, возникающие в чрезвычайно сложных условиях, таких как автоматическое тестирование на небольших площадках с течением времени и при различных температурах. Лучшая в своем классе производительность измерений достигается для широкого спектра применений в условиях испытаний с защитой от электромагнитных помех, светонепроницаемости и отсутствия влаги. Усовершенствования в управлении температурой и возможности автоматизации лаборатории повышают производительность и сокращают время обработки данных. Для тестирования при низких температурах для CM300xi также доступна открытая среда IceShield™ от FormFactor.
CM300xi поддерживает Contact Intelligence™ – уникальную технологию, позволяющую проводить автономные испытания полупроводников. Мощное сочетание инновационного дизайна системы и современной обработки изображений обеспечивает независимое от оператора решение для получения высоконадежных данных измерений в любое время и при любой температуре.
Пробоотборная станция CM300xi с устройством для транспортировки материалов сочетает в себе полностью автоматизированное тестирование пластин с высочайшей точностью и гибкостью. Система может обрабатывать до пятидесяти пластин диаметром 200 или 300 мм, поставляемых в полустандартных кассетах для пластин.
Дополнительная функция ReAlign ™ позволяет выполнять “внеосевое” выравнивание зонда с прокладкой независимо от основного микроскопа eVue. ReAlign - идеальный инструмент для зондовых карт, которые не позволяют просматривать площадки и наконечники зондов сверху. Это относится, например, к вертикальным и пирамидальным зондовым картам. Оборудование для перестройки включает в себя 2 дополнительные камеры: направленная вниз “Камера-валик” встроена непосредственно в валик CM300xi и используется для наблюдения за подушечками; направленная вверх “камера-обзор” используется для определения характеристик наконечников зондов. Мастер настройки позволяет легко и быстро выполнить настройку с помощью предопределенных алгоритмов для различных зондовых плат, таких как Pyramid, Apollo, Cantilever и т.д. Программа настройки позволяет автоматически управлять температурными переходами без вмешательства оператора.
Основные характеристики
Гибкость
- Определение характеристик устройств постоянного, переменного и радиочастотного / микроволнового диапазона, 1 / f, WLR, FA и отладка конструкции
- Полный температурный диапазон от -60 ° C до + 300 ° C
- Совместима с TopHat или IceShield
- Использование ручных и моторизованных позиционеров, зондовых карт в среде с защитой от электромагнитных помех
- Пути модернизации для удовлетворения ваших будущих потребностей
- Стабильные и воспроизводимые измерения в широком диапазоне температур

Высокая точность и повторяемость
- Надежный и воспроизводимый контакт
- Не содержащая влаги, светонепроницаемая и защищенная от электромагнитных помех испытательная среда с технологией MicroChamber®
- Усовершенствованная защита от электромагнитных помех благодаря технологиям PureLine и AttoGuard
- Превосходные измерения с низким уровнем утечек и шума
- Безопасное и точное тестирование без использования рук
- Сокращает время отстаивания для эффективных измерений во всем диапазоне температур

Простая ручная загрузка пластин
- Патрон, установленный на выкатной ступени, которую можно открывать вручную
- Обеспечивает полный доступ к патрону и вспомогательным узлам
- Для быстрой и безопасной ручной загрузки и выгрузки пластин

Ручное управление 3D
- Виртуальный подъем плиты и ручки XY спереди
- Интуитивно понятное и точное перемещение патрона в направлениях X, Y и Z
- Подъем валика обеспечивает чрезвычайно быстрый и интуитивно понятный способ выполнения многих задач по выравниванию, таких как настройка высоты контакта

Технология Contact Intelligence
- Компоненты с высокой термостойкостью
- Центровка зонда по оси относительно площадки
- Автоматическая температурная рампа
- Управление временем замачивания
- Позволяет CM300xi определять, изучать и реагироватьна различные температуры и расположение небольших площадок
- Обеспечивает наиболее точное совмещение зонда с прокладкой

Тепловые измерения
- Широкий ассортимент чрезвычайно производительных и надежных систем термических зажимовот ATT
- Гибкость от использования только в горячем виде до полного температурного диапазона от -60 ° C до + 300 ° C
- Расход воздуха (CDA) на 25% ниже, чем у других систем, представленных на рынке (300 л / мин), без компромиссов во время перехода
- Время перехода до 15% быстрее, чем у других систем, представленных на рынке
- Запатентованные технологии MicroVac™и FemtoGuard™ , обеспечивающие измерения со сверхнизким уровнем шума и контролируемую утечку, низкую остаточную емкость для обеспечения повторяемости и повышенной точности и скорости измерений
- Возможность модернизации в полевых условиях: растет в соответствии с вашими потребностями

Автоматизированный тест
- Термоиндуцированный дрейф может быть автоматически выровнендля прокладок диаметром 30 мкм в диапазоне температур от -40 ° C до 150 ° C (эффективный диапазон температур зависит от размера прокладки, держателя карты датчика и платы датчика).
- Позволяет проводить автоматические тестына небольших площадках размером до 30 мкм с течением времени и при различных температурах
- Более быстрое получение данных

Модульная конструкция
- 3 конфигурации уровня производительности (полностью экранированная / закрытая / открытая)
- Множество вариантов в соответствии с вашим бюджетом / потребностями в тестировании
- Выбирайте сейчас или обновите позже в полевых условиях:
- Опция PTPA с патроном и камерой для валика
- 3 уровня автоматизации: Полуавтоматическая, Полностью автоматизированная, двойная система
- Нетермический, только горячий и полный температурный диапазон от -60 ° C до 300 ° C

Тестовая производительность и погрузочно-разгрузочная установка
- Автоматизация тестирования вне кассеты для повышения эффективности тестовой ячейки при работе ночью / в выходные дни
- Обрабатывает до 25/50 пластин (200 или 300 мм)
- Возможность горячей замены полустандартных кассет
- Безопасная обработка пластин без участия оператора
- MHU301: очень компактное, полностью автоматизированное решение с малой занимаемой площадью
- MHU300: возможность модернизации в полевых условиях до системы двойной проверки
- Быстрая поставка широкого спектра точных параметров модели
- Ускоренная разработка процессов и устройств

Программное обеспечение для управления зондовой станцией Velox
- Ориентированный на пользователя дизайн сводит к минимуму затраты на обучение и повышает эффективность
- Совместимость с Windows 10 обеспечивает высочайшую производительность и безопасную работу с самым современным оборудованием
- Комплексные функции выравнивания – от простого выравнивания пластин и составления картдо расширенного выравнивания зонда с подложкойпри различных температурах для автономного тестирования полупроводников
- Упрощенная эксплуатация для неопытных пользователей: сокращенные затраты на обучение благодаря руководству по рабочему процессуи сжатому графическому интерфейсу пользователя
- Интеграция с загрузчиком – простое создание рабочих процессов и квитанций и отсутствие необходимости в каком-либо дополнительном программном обеспечении
- Опция VeloxPro: программное обеспечение для управления тестированием, совместимое с E95, которое обеспечивает упрощенную и безопасную автоматизацию всего цикла тестирования пластин

Области применения
- Анализ отказов
- IV/CV
- Надежность
- RF / mmW /THz
JoomShopping Download & Support