Технические характеристики
Машина для нанесения воскового покрытия на пластины AET-2000B предназначена для полупроводниковых пластин.
Машина для нанесения воскового покрытия на пластины AET-2000B предназначена для полупроводниковых пластин. Благодаря контролю цилиндра и подушки безопасности плоскостность воскового покрытия может достигать 2 мкм, и оно совместимо с керамическими дисками диаметром 248, 360 и 485 мм. Машина оснащена высокоэффективным роботизированным манипулятором, прецизионным приводом и системой управления собственной разработки, которые обеспечивают стабильную работу, высокую повторяемую точность позиционирования и производственную мощность.
Преимущество
Гибкий
Может обрабатывать пластины из различных материалов диаметром 2–6 дюймов и 4–8 дюймов.
Легко переключаться на обработку пластин разного размера.
Закрытое пространство во время нанесения воска, убедитесь в чистоте поверхности.
Высокая точность
Высокая точность повторного позиционирования
Внутри нагревательной и охлаждающей пластины используется прецизионная система нагрева и автоматического охлаждения, которая позволяет точно контролировать температуру пластины.
Плоскостность воскового покрытия может достигать 2 мкм.
Кастомизация
Полуавтоматический режим: автоматическая передача пластины манипулятором робота на станцию нанесения воскового покрытия, ручная выгрузка пластин и ручная загрузка, выгрузка и очистка керамических дисков.
Полностью автоматический: автоматический перенос пластины с помощью робота-манипулятора на станцию нанесения воскового покрытия, автоматическая выгрузка пластины. загрузка, выгрузка и очистка керамических дисков автоматически завершаются манипулятором робота.
Могут быть настроены в соответствии с требованиями клиента.
Несколько спецификаций обработки
Подходит для различных материалов полупроводниковых подложек перед полировкой.
Технические параметры
|
Модель |
AET-2000B |
|
Размер пластины |
2-6 дюймов, 4-8 дюймов |
|
Тип пластины |
SiC, сапфир, InP и т. д. |
|
Размер и вес машины |
Д2600ммxШ1200ммxВ1930мм;1100кг |
|
Метод воскового покрытия |
Центробежный |
|
Метод нагрева и точность |
Электрическая нагревательная трубка, ±1 ℃ |
|
Метод прессования и вставки |
Подушка безопасности |
|
Способы погрузки и разгрузки |
Эффективная роботизированная рука и автоматический перенос |
|
Метод переноса пластин с помощью робота-манипулятора |
Керамическая пальцевая вакуумная адсорбция |
|
Контроль температуры нагревательной пластины, диапазон |
40-80℃ |
|
Плоскостность воскового покрытия |
≤2мкм |
|
Повторяющаяся точность позиционирования |
±0,05 мм |
|
Точность количества покрытия |
±0,02 г |
|
Погрузочная платформа |
2 кассеты |
|
Автоматические требования |
Полуавтоматический: автоматическая передача пластины манипулятором робота на станцию нанесения воскового покрытия, ручная выгрузка пластин и ручная загрузка, выгрузка и очистка керамических дисков. Полностью автоматический: автоматический перенос пластины с помощью робота-манипулятора на станцию нанесения воскового покрытия, автоматическая разгрузка пластин. Загрузка, выгрузка и очистка керамических дисков автоматически завершаются манипулятором робота. |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
AET-2000B |
По запросу |
JoomShopping Download & Support