KLA-Tencor FLX-2320

Параметр

Значение

Модель

FLX-2320

Тип

Лазерный сканирующий измеритель кривизны подложек и напряжений в пленках

Диаметр обрабатываемых пластин

150–200 мм (6–8 дюймов), опционально до 300 мм

Метод измерения

Лазерное сканирование поверхности с измерением угла наклона (оптическая рычажная система)

Источник лазера

Полупроводниковый лазер (длина волны 670 нм или 780 нм)

Диапазон измерения кривизны

±0.001 м⁻¹ – ±1000 м⁻¹ (в зависимости от конфигурации)

Чувствительность изменения кривизны

До 1 × 10⁻⁶ м⁻¹ (0.001 м⁻¹)

Диапазон измерения напряжений

От 1 МПа до нескольких ГПа (зависит от толщины подложки и пленки)

Температурный диапазон

Комнатная температура (стандартно); опционально с нагревательным столиком до 900°C для in-situ измерения напряжений в процессе термического цикла

Скорость сканирования

Регулируемая, до 20 мм/с

Разрешение по координатам

До 0.1 мм

Система загрузки пластин

Ручная загрузка (опционально автоматическая кассетная загрузка)

Управление

Промышленный ПК с программным обеспечением KLA для управления измерением, анализа данных, построения 2D/3D-карт кривизны и напряжений

Габариты (Ш × Г × В)

Примерно 1.0 × 0.8 × 0.5 м

Масса

Примерно 80–100 кг

Напряжение питания

100–240 В, 1 фаза, 50/60 Гц

Потребляемая мощность

Примерно 0.3–0.5 кВт

Применение

Описание

Полупроводниковая промышленность

Контроль напряжений в диэлектрических слоях (SiO₂, Si₃N₄), металлических пленках (Al, Cu, W, TiN), высоко-κ диэлектриках, после CMP, осаждения и отжига

Производство дисплеев

Измерение напряжений в прозрачных проводящих слоях (ITO), изоляторах и пассивирующих покрытиях на стекле

Микроэлектромеханические системы (МЭМС)

Контроль напряжений в структурных слоях для обеспечения надежности подвижных элементов (мембраны, балки, актуаторы)

Солнечная энергетика

Изучение напряжений в тонкопленочных солнечных элементах (a-Si, CdTe, CIGS, перовскиты) для повышения стабильности

Материаловедение

Исследование механических свойств тонких пленок, изучение процессов релаксации напряжений при термоциклировании