Varian E500HP — это ионный имплантер (ионно-лучевая установка) для обработки полупроводниковых пластин. Система относится к семейству высокопроизводительных имплантеров Varian (впоследствии Applied Materials) и предназначена для высокодозного легирования кремниевых пластин в полупроводниковом производстве.
Основные технические характеристики Varian E500HP
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
E500HP (High Productivity) |
|
Тип |
Высокотоковый ионный имплантер (High Current Implanter) |
|
Диаметр обрабатываемых пластин |
150–200 мм (6–8 дюймов) |
|
Энергия ионного пучка |
10–200 кэВ (в зависимости от конфигурации) |
|
Ток пучка |
До 30 мА (для ионов As⁺, P⁺, B⁺) |
|
Типы ионов |
B⁺, P⁺, As⁺, BF₂⁺, другие (в зависимости от источника ионов) |
|
Источник ионов |
Бернасовского типа (Bernas ion source) |
|
Сканирование пучка |
Электростатическое сканирование |
|
Система загрузки пластин |
Кассетная загрузка (автоматическая) |
|
Однородность легирования |
≤ ±1% (по всей пластине) |
|
Воспроизводимость дозы |
≤ ±1% |
|
Производительность |
До 150–200 пластин/час (зависит от условий) |
|
Система управления |
Промышленный ПК с программным обеспечением для контроля процесса и регистрации данных |
|
Вакуумная система |
Турбомолекулярные и механические насосы |
|
Предельный вакуум в камере обработки |
~10⁻⁵–10⁻⁶ Па |
|
Габариты (Ш × Г × В) |
Примерно 2.5 × 3.0 × 2.8 м |
|
Масса |
Примерно 5000–6000 кг |
|
Напряжение питания |
200–480 В, 3 фазы, 50/60 Гц |
|
Потребляемая мощность |
Примерно 15–20 кВт |
Ключевые особенности
- Модель E500HP (High Productivity) разработана для высокопроизводительного легирования пластин, что делает её идеальной для серийного производства полупроводниковых приборов.
- Источник ионов Бернасовского типа
Обеспечивает стабильную генерацию ионного пучка с высокой плотностью тока, что позволяет эффективно легировать пластины с высокой скоростью.
- Электростатическое сканирование пучка
Система сканирования позволяет равномерно распределять ионный пучок по всей поверхности пластины, обеспечивая отличную однородность и воспроизводимость.
- Автоматизированная обработка пластин
Кассетная загрузка и выгрузка пластин обеспечивает непрерывную работу без участия оператора, что повышает производительность и снижает риск загрязнения.
Производство: США
JoomShopping Download & Support