Комбинаторная установка для нанесения покрытий плазменным напылением оснащена тремя 2-дюймовыми источниками магнетронного напыления и тремя источниками питания RF/DC. Такая система распыления способна совместно распылять до трех различных материалов-мишеней и создавать различные композиционные профили по всей подложке.
Технические характеристики
Устройство для нанесения комбинированного плазменного напыления также подходит для последовательного нанесения многослойных пленок, таких как сегнетоэлектрические, легкосплавные, полупроводниковые, керамические, диэлектрические, оптические, оксидные, твердые, из ПТФЭ и т.д. По сравнению с аналогичным оборудованием оно не только широко используется, но и обладает преимуществами небольших размеров и простоты эксплуатации. Это идеальное оборудование для лабораторной подготовки пленок материалов, особенно подходящее для лабораторных исследований твердых электролитов и OLED.
Технические параметры
|
Входная мощность |
Однофазный 220 В переменного тока частотой 50/60 Гц 2000 Вт (включая вакуумный насос и охладитель воды) |
|
Мощность источника |
Три источника питания для распыления объединены в один блок управления. Источник постоянного тока: мощность 500 Вт для нанесения покрытий на металлические материалы. Источник радиочастотного излучения: мощность 300 Вт, частота 13,56 МГц для нанесения покрытий на непроводящие материалы. |
|
Магнетронная распылительная головка |
В комплект поставки входят три 2-дюймовые магнетронные головки рубашками охлаждения и жалюзи. В комплект поставки входят: Также доступна одна модель распылительной головки. Требуемый размер мишени: диаметр 2 дюйма Диапазон толщины: 0,1 - 5 мм как для металлических, так и для непроводящих мишеней (включая подложку) Для демонстрационного тестирования в комплект входит одна мишень из нержавеющей стали и одна мишень исследовательского класса Al2O3 Устройство для нанесения покрытия по индивидуальному заказу: Два DC - один RF; Два RF - один DC; Три DC; Три RF |
|
Вакуумная камера |
Вакуумная камера: диаметр 300 мм×высота 300 мм, изготовлена из нержавеющей стали Смотровое окно: Две детали диаметром 100 мм. стекло. Одна фиксированная; одна съемная для чистки и замены Откидная крышка с пневматическим силовым полюсом позволяет легко менять мишень |
|
Стадия отбора проб |
Держатель образца представляет собой вращающуюся и нагреваемую ступень, изготовленную из керамического нагревателя с медной крышкой Размер держателя образца: диаметр 140 мм. Максимум 4 "пластины Скорость вращения: регулируется от 1 до 20 об / мин для равномерного нанесения покрытия Температура держателя регулируется от RT до 500 °C макс. (не более 2 часов) с точностью +/- 1,0 °C с помощью цифрового регулятора температуры |
|
Регулирование расхода газа |
Установлены два прецизионных регулятора массового расхода (MFC), обеспечивающих подачу двух типов газов Скорость потока: 0-200 мл/мин и 0-100 мл/мин регулируется на сенсорной панели управления Для выпуска вакуума установлен впускной клапан |
|
Вакуумная насосная станция |
В комплект поставки входит передвижная насосная станция. Установка для нанесения напыления может быть установлена на верхней части станции Высокоскоростной турбонасос со скоростью 80 л /с в сочетании с двухступенчатым механическим насосом (220 л/мин) обеспечивает максимальный уровень вакуума и более высокую скорость откачки Стандартный уровень вакуума, подключенный к камере: < 4,0 E-5 Торр. (1,0E-6 Торр. при камерном обжиге) |
|
Охладитель воды |
В комплект входит один охладитель рециркуляционной воды с цифровым регулированием температуры. Диапазон охлаждения: 5 ~ 35 °C Расход: 16 л/мин Давление насоса: 14 фунтов на квадратный дюйм |
|
Габаритные размеры |
Закрытая крышка: 48 "× 28 " × 32" Открытая крышка: 48 "× 28 " × 37" |
|
Масса нетто машины для нанесения покрытия |
160 кг |
|
Гарантия |
Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Combinatorial plasma sputtering coater with 3 magnetron sputtering sources
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support