Это оборудование представляет собой настольную установку для нанесения покрытий магнетронным распылением с одной мишенью, его можно использовать при получении металлической пленки, а также в электронных областях, оптических областях, специальной области получения керамики.
Технические характеристики
Данное оборудование представляет собой настольную машину для одноцелевого магнетронного распыления, его можно использовать при получении металлической пленки, а также в электронных областях, оптических областях, специальной области получения керамики, его, безусловно, можно использовать при подготовке образцов SEM в лаборатории.
Это настольное оборудование для одноцелевого магнетронного распыления для нанесения покрытия оснащено кварцевой вакуумной камерой, а процесс нанесения покрытия является всенаправленным, что позволяет легко наблюдать и записывать эксперимент.Конструкция полости проста в открытии, ее легко чистить и она очень подходит для лабораторного использования. В то же время оборудование оснащено вращающимся нагревательным столом для образцов, который может эффективно улучшить однородность пленки и ее качество. Машина имеет модульную конструкцию, простую логику управления, интуитивно понятный интерфейс управления, проста в запуске.
Технические параметры
|
Название продукта |
Настольная одноцелевая магнетронная напыляющая машина |
|
Модель продукта |
CY-MSP180G-1T-A |
|
Условия установки |
1,Температура рабочей среды: 25℃±15;,,, 2、электропитания оборудования：220В，50 Гц， должны быть обоснованы； 3、Номинальная мощность:1000 Вт; 4、Оборудование для газа：Камера оборудования должна быть заполнена газообразным аргоном для очистки. Заказчик должен подготовить газообразный аргон чистотой ≥99,99%. 5,Требования к размерам стола: 600 мм × 600 мм × 700 мм,несущая способность ≥ 50 кг 6、Помещение должно хорошо проветриваться и охлаждаться. |
|
Технические показатели |
1、 Источник питания для распыления:Источник питания постоянного тока 300 Вт;максимальное выходное напряжение 600 В,ограниченный выходной ток 500 мА 2、 Магнетронная мишень:2-дюймовая балансировочная мишень,перегородка с магнитным соединением; 3、 Подходящий материал мишени： толщиной 50 мм x 3 мм 4, Размер φ180 мм x 200 мм,,, 5、 материал полости： высокой чистоты кварцевые 6、 Вращающийся нагревательный стол для образцов：скорость вращения 1 ~ 20 об /мин регулируется плавно;максимальная температура нагрева 500℃,самая низкая рекомендуемая скорость нагрева 10℃/мин,самая высокая рекомендуемая скорость нагрева 20℃/мин. 7、 Режим для магнитной мишени и молекулярного насоса требуется охладитель циркулирующей воды - охладитель для воды 8, Машина для водяного охлаждения：объем резервуара 9 л,скорость потока 10 л / мин 9, Система подачи газа:массовый расходомер, тип газа Аргон,расход 1 ~ 30 см(настраиваемый) 10, Точность расходомера : Диапазон измерения ±1,5%. 11、 Интерфейс нагнетания воздуха в вакуумной камере KF25 12, Интерфейс воздухозаборника представляет собой соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма 13, Сенсорный экран-цветной сенсорный экран 7 дюймов 14, Регулируемый ток распыления,можно установить значение безопасного тока распыления и значение безопасного вакуума; 15 、 защита от перегрузки по току при слишком низком вакууме автоматически отключает ток распыления 16、 Максимальный вакуум:5E-4Pa (соответствующий молекулярный насос); 17、 Измерение вакуума производится вакуумметром Parana,диапазон составляет:1~105 па |
|
УВЕДОМЛЕНИЕ |
1、При магнетронном распылении создается высокий рабочий вакуум, обычно в пределах 2Па, и его необходимо использовать с молекулярным насосом. 2、Для создания среды с высоким содержанием кислорода вакуумную камеру следует очистить не менее 3 раз инертным газом высокой чистоты. 3、Магнетронное распыление чувствительно к забору воздуха, поэтому для контроля забора воздуха необходим массовый расходомер |
|
Дополнительный аксессуар |
|
|
Пленка Контроль толщины |
1、толщины пленки резолюции：0.0136 Å（алюминиевый） 2、Точность определения толщины пленки :± 0,5%,это зависит от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности 3,Скорость ),, 4、Стандартный сенсорный кристалл：6 МГц 5、Подходит для частоты пластин:6 МГц подходит для размеров пластин：Φ14 мм монтажный фланец：CF35 |
|
Другой аксессуар |
1 Комплект высокоэффективных молекулярных насосов серии CY-CZK103 (включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 105 па) Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60(включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 102 па) Двухполярный роторно-лопастной вакуумный насос VRD-4 2、Вакуумный сильфон KF25; Длина может составлять 0,5 м, 1 м или 1,5 м. Зажимной кронштейн KF25 3、Кварцевый генератор для измерения толщины пленки; 4、Клапан тонкой настройки из нержавеющей стали (подходит только для низких требований к покрытию) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP180G-1T-A |
По запросу |
JoomShopping Download & Support