Полностью автоматизированный тестовый стенд с пробниками TZ-606

Технические характеристики

Это полностью автоматическое оборудование, предназначенное для анализа и тестирования электрических параметров дискретных полупроводниковых приборов и интегральных схем (ИС). При подключении к измерительному прибору устройство автоматически выполняет тестирование электрических параметров микросхем.

Рабочий стол (платформа):

• Диаметр тестируемых пластин: 4″, 5″, 6″;
• Максимальный ход (перемещение): 240 мм × 300 мм;
• Точность позиционирования: ≤ ±0,01 мм / 160 мм;
• Разрешение шага: 0,001 мм.

Подложкодержатель (платформа для образцов):

• Ход по оси Z: 10 мм;
• Повторяемость позиционирования по оси Z: ≤ ±0,003 мм;
• Разрешение по оси Z: 0,001 мм;
• Автоматический диапазон регулировки по оси θ (угол поворота): ±10°;
• Разрешение по оси θ: 0,0013°.