Технические характеристики
Параметры контроля:
Шероховатость, линия реза, высота бугорков, размер бугорков, смещение бугорков, шаг бугорков, инородные материалы, частицы, метки, царапины, изменение цвета, механические повреждения, сколы и другие дефекты.
Возможна компактная настройка опций в соответствии с требованиями заказчика.
- Производительность до 120 пластин в час (при разрешении 10 мкм);
- Гибкое разрешение (от 10 мкм до 0,45 мкм);
- Три одновременных метода анализа цветовых дефектов: в реальном времени, высокое разрешение и полный осмотр пластины;
- Интеграция с модулями контроля кромок и обратной стороны для комплексного анализа всей поверхности.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
MacroEdge TM |
По запросу |
JoomShopping Download & Support