Полностью автоматизированная система измерения поверхностного сопротивления RS-300-AUTO

Технические характеристики

• Серия RS представляет собой уникальное оборудование для измерения удельного сопротивления (поверхностного сопротивления) контактным и бесконтактным методами, позволяющее легко создавать картографические измерения и автоматически точно измерять поверхностное сопротивление.
• RS-300-AUTO основан на макрозонде с 4 иглами (общая ширина наконечников: 4,2 мм), среднем зонде с 4 иглами (ширина 300 мкм, 600 мкм) и системе распознавания образов с помощью зрения, что обеспечивает более точные измерения RS в локальных областях.
• Это простое и экономически эффективное устройство для измерения тонких плёнок, которое позволяет оценивать толщину плёнки и её электрические свойства через измерение поверхностного сопротивления, обеспечивая полный контроль процесса.
• RS-300-AUTO разработан для передовых процессов производства пластин (FAB) и является самым производительным инлайн-измерительным оборудованием в отрасли.
• RS-300-AUTO предлагает режим многоточечного картирования в соответствии со стандартами SEMI, позволяя пользователям создавать произвольные карты измерений.
• Кроме того, с помощью опциональной функции визуального сопоставления шаблонов возможны ещё более точные измерения, а время от загрузки материала до выгрузки после измерения составляет менее 120 секунд.