Технические характеристики
Продукты серии iFM представляют собой оборудование для измерения положения чипа. Продукты позволяют осуществлять высокоточное измерение информации о положении образца рисунка и могут использоваться для измерения положения пластин, масок и т. д.
Технические параметры
|
Модель устройства |
iFM3000 |
iFM5000 |
|
Размер подложки |
330мм*330мм |
515мм*510мм |
|
Точность измерения |
±100 нм |
±100 нм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Оборудование для измерения положения микросхем серии iFM |
По запросу |
JoomShopping Download & Support