Обзор продукции
Полуавтоматическое зондирование пластин в условиях высокого вакуума
PAV200 - это высокоточная полуавтоматическая зондирующая станция для пластин и подложек диаметром до 200 мм в условиях вакуума <1 ×10-4 мбар. Разработанная для промышленных условий и крупных исследовательских учреждений, она поддерживает широкий спектр применений, включая измерения постоянного и радиочастотного тока, MEMS и оптоэлектронные тесты.
PAV200 поддерживает работу с несколькими оптическими приборами, такими как источники ИК-излучения (черные корпуса). Может быть встроено до восьми позиционеров зондов и / или плата зондирования.
Основные характеристики
Гибкость
- Различные носители подложек для пластин диаметром до 200 мм или отдельных матриц
- Карты зондов и / или до восьми позиционеров
- Дополнительный термозакручивающий патрон (от -60 ° C до 300 ° C) и регулировка давления
- Доступны дополнительные принадлежности, такие как черные корпуса и инструменты оптического анализа движения
- Дополнительное обновление для пластины диаметром 300 мм
- Предназначена для промышленных условий
- Охватывает широкий диапазон измерений (I-V, C-V, RF, MEMS, OPTO)
- Идеально подходит для небольших конструкций
Стабильность
- Устройства для позиционирования зондов, размещенные внутри вакуумной камеры
- Короткие и устойчивые рычаги зондирования
- Прочная рама станции со встроенной виброизоляцией
- Дополнительный мостик для микроскопа
- Точное позиционирование зонда
- Превосходная точность и повторяемость измерений
- Превосходное гашение вибрации
- Стабильное качество изображения для сложного MEMS-анализа
Простота использования
- Контроллер с джойстиком
- Ручные позиционеры зондов с поворотными проходами
- Возможность фронтальной загрузки через загрузочный люк
- Удобное и простое управление
- Быстрая и эргономичная замена ИУ
Высокая производительность измерений
- Программное управление патроном для быстрого поэтапного тестирования всей пластины
- Быстрое поэтапное тестирование всей пластины
Программное обеспечение для управления зондовой станцией Velox
- Ориентированный на пользователя дизайн сводит к минимуму затраты на обучение и повышает эффективность
- Комплексные функции выравнивания – от простого выравнивания пластин и составления картдо автоматического выравнивания и тестирования нескольких отдельных микросхем, таких как матрицы в ИК–фокальной плоскости
- Упрощенная эксплуатация для неопытных пользователей: сокращенные затраты на обучение благодаря руководству по рабочему процессуи сжатому графическому интерфейсу пользователя
- Опция VeloxPro: программное обеспечение для управления тестированием, совместимое с SEMI E95, которое обеспечивает упрощенную и безопасную автоматизацию всего цикла тестирования пластин.
Применение
- IV/CV
- MEMS
- Opto
- RF / mmW /THz
JoomShopping Download & Support