PAC200 полуавтоматическая /полностью автоматизированная криогенная зондовая система диаметром 200 мм

Обзор продукта

Полуавтоматическое / полностью автоматизированное криогенное зондирование пластин до 10 К

PAC200 - это высокоточная полуавтоматическая зондирующая станция для пластин и подложек диаметром до 200 мм (опция - 300 мм) в условиях высокого вакуума при криогенных температурах до 77 К с жидким азотом или до 10 К с жидким гелием. Также доступны варианты сухого охлаждения.  

Разработанная для промышленных условий и крупных исследовательских объектов, она поддерживает широкий спектр применений, включая измерения постоянного и радиочастотного тока в новейших кремниевых, составных полупроводниковых и сверхпроводниковых устройствах, МЭМС и оптоэлектронные тесты. Опционально PAC200 также может быть оснащен автозагрузчиком, что превращает его в полностью автоматизированную станцию криогенного зондирования (смотрите Видео ниже). 

PAC200 поддерживает работу с несколькими оптическими приборами, такими как источники ИК-излучения (черные корпуса). Может быть встроено до восьми позиционеров зондов и / или плата зондирования. 

Гибкость

• Различные носители подложек для пластин диаметром до 200 мм или отдельных матриц
• Карты зондов и / или до восьми позиционеров
• Используется с жидким азотом или гелием, в зависимости от заданной температуры. Или криохолодильник для сухого охлаждения опция. 
• Доступны дополнительные принадлежности, такие как черные корпуса и инструменты оптического анализа движения
• Дополнительное обновление для 300-мм пластины
• Предназначена для промышленных условий
• Охватывает широкий диапазон измерений (I-V, C-V, RF, MEMS, OPTO)
• Идеально подходит для небольших конструкций

Стабильность

• Зондирование без образования льда и конденсата при температуре до 77 К (жидкий азот) или до 10 К (жидкий гелий или криохладитель) 
• Устройства для позиционирования зондов, размещенные внутри вакуумной камеры
• Короткие и устойчивые рычаги зондирования
• Прочный каркас станции со встроенной виброизоляцией
• Дополнительный мостик для микроскопа
• Точное позиционирование зонда
• Превосходная точность и повторяемость измерений
• Превосходное гашение вибрации
• Стабильное качество изображения для микроскопов высокого разрешения

Простота использования

• Джойстиковый контроллер
• Ручные позиционеры зондов с поворотными проходами
• Возможность фронтальной загрузки через загрузочный люк
• Удобное и простое управление
• Быстрая и эргономичная смена ИУ

Программное обеспечение для управления зондовой станцией Velox

• Ориентированная на пользователя конструкция сводит к минимуму затраты на обучение и повышает эффективность
• Комплексные функции выравнивания – от простого выравнивания пластин и составления картдо автоматического выравнивания и тестирования нескольких отдельных микросхем, таких как матрицы в ИК–фокальной плоскости
• Упрощенная эксплуатация для неопытных пользователей: сокращенные затраты на обучение благодаря руководству по рабочему процессуи сжатому графическому интерфейсу пользователя
• Опция VeloxPro: программное обеспечение для управления тестированием, совместимое с SEMI E95, которое обеспечивает упрощенную и безопасную автоматизацию всего цикла тестирования пластин

Применение

• IV/CV
• MEMS
• Opto

• RF / mmW /THz