PLC50 система ручного криогенного зондирования 100 мм

Обзор продукта

Ручное криогенное зондирование пластин начального уровня < 7 К

PLC50 - это высокоточная и экономичная зондирующая станция для пластин и подложек диаметром до 100 мм в условиях высокого вакуума при криогенных температурах до 77 К с жидким азотом или <7 К с жидким гелием. Специально разработанная для лабораторных нужд, она поддерживает широкий спектр применений, включая измерения постоянного и радиочастотного тока в новейших кремниевых, составных полупроводниковых и сверхпроводящих устройствах, МЭМС и оптоэлектронные тесты.

Гибкость

• Различные носители подложек для пластин диаметром до 100 мм или одиночных матриц
• До шести позиционеров
• Используется с жидким азотом или гелием, в зависимости от заданной температуры
• При атмосферных условиях возможно зондирование с открытой крышкой камеры
• Специально разработана для лабораторных условий
• Охватывает широкий диапазон измерений (I-V, C-V, RF, MEMS, OPTO)

Стабильность

• Холодозащитный экран с независимым охлаждением
• Устройства для позиционирования зондов, размещенные внутри вакуумной камеры
• Короткие и стабильные рычаги зондирования
• Прочная рама станции со встроенной виброизоляцией
• Зондирование без образования льда и конденсата при температуре до 77 К (жидкий азот) или ниже 7 К (жидкий гелий)
• Точное позиционирование зонда
• Превосходная точность и повторяемость измерений
• Превосходное гашение вибрации

Простота использования

• Эргономичный и простой дизайн
• Простое управление микроскопом
• Откидная верхняя крышка
• Удобное и простое управление
• Быстрая и эргономичная смена ИУ
• Доступ к зондам и образцам сверху

Высокая пропускная способность измерений

• Независимое управление ступенью линейного патрона и позиционерами
• Ход контакта /разъединения пластины зонда
• Быстрое ручное поэтапное тестирование всей пластины
• Одновременный контакт и разделение всех зондов

Применение

• IV/CV
• MEMS
• Оптический
• RF / mmW / THz