Оборудование для обнаружения дефектов чипов COWCOT AOI

COW/COT AOI используется для проверки внешнего вида чипов GaN, GaAs, InP и других чипов. Поддержка 4@、6@、8@、12@ Тестирования образцов вафель или детской кроватки. Обычное обнаружение: аномалия электрода, осыпание эпитаксиального слоя, аномалия режущего канала, аномалия зоны свечения, остаточное золото, двойной кристалл, эпитаксиальная аномалия, минимальный размер обнаруживаемого дефекта достигает 0,5 мкм. Поддерживайте определенные пользователем или согласованные пользовательские категории дефектов.

Технические характеристики

Конфигурация инструмента

• Размер пластины: 4 "/6" или 4 "/6"/8" или 8 "/12" совместим; другие размеры по запросу.
• Доступны COW (чип на пластине), COT (чип на ленте) или (двустороннее обнаружение).
• Оптика: комбинации 1X, 3X, 5X, 10X и 20X в зависимости от требований к проверке; 50X или 100X используются для проверки.

Обнаружение типов дефектов.

• Размер дефекта: 0,5 мкм или выше
• Регулярное обнаружение: аномалии электродов, отслаивание эпитаксиального слоя, аномалии дорожек резки, аномалии светящейся области, остаточное золото, двойные кристаллы, эпитаксиальные аномалии.
• Система глубокого обучения и алгоритм нейронной сети позволяют точно классифицировать категории дефектов.
• Поддерживает определяемые пользователем или согласованные категории дефектов, но добавление категорий дефектов может повлиять на производственную мощность.

Пропускная способность (WPH) при оптике 3X.

• 3xCOW4": при 30 мил, 4"при 8 мил, 6"при 8 мил, 6"при 4 мил.
• 3xCOT: 4"@8 мил, 4"@4 мил
• 3xCOTD: 4"@ 8 мил, 4"@ 4 мил, 6"@ 8 мил, 6"@4 мил

Функции программного обеспечения.

• Функциональные блоки: управление работой с пластинами, индикация состояния, блокировка безопасности, сбор данных, обработка результатов измерений, редактирование рецептур и управление ими, графический интерфейс для проверки дефектов, журнал регистрации состояния оборудования.
• Права пользователя: инженер-технолог, инженер по оборудованию, оператор
• Функция сортировки: Объем ячейки для продукта может быть определен в соответствии с потребностями пользователя.
• Определение дефекта: Пользователь может самостоятельно установить параметры обнаружения и стандарты контроля карты.