Обнаружение морфологии пластин, обнаружение дефектов подложек, оборудование для тестирования PSS, оборудование для обнаружения дефектов эпитаксиальных пластин GaN и GaAs, обнаружение дефектов внешнего вида чипов и другое оборудование AOI являются основным оборудованием для оптических измерений и тестирования на отечественных предприятиях по производству светодиодов; типичные модели: SPI300, E300, F300-PSS, F300-EPI-Серии GN, F300-EPI-GA, F400 COW/COT/COTD.
Оборудование для измерения и сортировки топографии пластин SPI300.
Технические характеристики
Адаптация к размеру вафель.
- Размер: 4", 6" совместимый
- Стандартная конфигурация — 16 кассет или 14 кассет (опция/WA). Все кассеты можно свободно устанавливать для ввода и вывода, а также свободно сортировать.
Проверка и экспорт.
- Регулярные испытания: толщина, TTV, изгиб, деформация, TIR, Сори, провисание, LTV (требуется проверка полной карты).
- Может выводить отчеты о данных в формате CSV, а также настраивать и сохранять типы линий линейного сканирования и отчеты в формате PDF о 2D/3D-картах поверхности при сканировании поверхности.
Емкость. Пропускная способность.
|
|
4" |
6" |
|
4-строчная развертка счетчика |
300 WPH |
240 WPH |
|
сканирование с помощью 4-линейного измерителя, определение границ (опция/WA) |
230 WPH |
180 WPH |
|
сканирование с помощью 4-линейного измерителя, определение границ, распознавание текста (опционально/OC) |
180 WPH |
130 WPH |
|
Полнометражное сканирование поверхности с интервалом 2 мм, поиск краев (опционально/WA) |
60 WPH |
30 WPH |
* Расчет 4 коробок по 100 штук для непрерывного тестирования оригинала на входе и выходе.
Возможность проведения инспекции.
- Диапазон толщины вафли: 400-2000мкм
- Разрешение обнаружения: 0,028 мкм
- Точность обнаружения: ± 0,2мкм
- Повторяемость: 3 σ ≦ 1,0 мкм
- Точность (индекс FRT) THK/Bow/Warp Линейность ≥ 95%
- Точность (индекс FRT) Линейность TTV/TIR ≥ 90%
Функции программного обеспечения.
- Функциональные блоки: управление обработкой вафель, индикация состояния, блокировка безопасности, сбор данных, сортировка вафель, просмотр и сохранение данных о результатах измерений, редактирование рецептов и управление ими, журнал регистрации состояния оборудования.
- Права пользователя: инженер, оператор.
- Функция сортировки: в соответствии с потребностями пользователя, выбор сорта продукта A/B/C/NG может быть определен на всех уровнях.
- Определение параметров: Пользователь может самостоятельно протестировать параметры и установить стандарт управления картой.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Оборудование для измерения и сортировки топографии пластин SPI300. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support