Тестер пластин WT-2000

Технические характеристики

WT-2000 - это мощная настольная измерительная платформа для выполнения множества различных измерений характеристик полупроводниковых материалов. Базовая система включает в себя все служебные функции, необходимые для выполнения измерений характеристик, включая источники питания, компьютер и операционное программное обеспечение, этап измерения X-Y и так далее. Обычно он используется для создания карт, где пластина сканируется с помощью программируемого растра. WT-2000 также может выполнять измерения в определенных, программируемых местах измерения.

Модель WT-2000 рекомендуется для фабрик и лабораторий среднего класса.

Особенности и системные спецификации:

• Размер пластины: до 300 мм с голой или покрытой диэлектриком поверхностью
• Обработка пластин: ручной или полуавтоматический индексатор
• Параметры загрузки:
  • кассетный индексатор 100-200 мм
  • индексатор кассет диаметром 300 мм с 13 слотами, включая открытые кассеты для пластин диаметром 100-300 мм
  • Индексатор кассет диаметром 300 мм с 25 слотами, включая кассеты FOUP, FOSB и открытые кассеты для пластин диаметром 100-300 мм
• Образцы: np соединение (имплантированное, отожженное)
• Программное обеспечение для автоматизации с возможностью связи SECS / GEM для стандартов, отличных от 300 мм.
• Автоматизация производства: SECS / GEM для стандартов не более 300 мм

Каждая система может быть сконфигурирована в соответствии с требованиями пользователя путем добавления возможностей измерения и автоматизации, описанных ниже.

Измерительные возможности:

• JPV для измерения ионных имплантатов
• Вихретоковое измерение сопротивления листа