ИК спектроскопический эллипсометр SE-2000

Технические характеристики

SE традиционно используется в УФ / видимой / ближней инфракрасной области спектра (190-2500 нм) для точной метрологии толщины слоя, показателей преломления и концентрации сплавов. Компания SEMILAB предложила инфракрасный спектроскопический эллипсометр с преобразованием Фурье (SE-2000-IR) для исследований и разработок. Инфракрасная область интересна тем, что во многих случаях могут быть обнаружены границы поглощения, связанные с химическим составом образца. Информацию о толщине также можно получить в инфракрасной области по интерференционным полосам, как в УФ-видимой области. Более того, концентрация свободных носителей влияет на коэффициент поглощения в инфракрасном диапазоне, что дает неразрушающий способ измерения этого параметра с помощью хвоста Друде.