Монитор дозы ионных имплантатов PMR-2200S

Технические характеристики

Благодаря значительным усовершенствованиям Semilab PMR-2200S позволяет осуществлять оперативный мониторинг процессов имплантации на пластинах изделий для немедленного, точного и недорогого производственного контроля систем имплантатов и оперативного мониторинга процесса предварительного отжига имплантатов.

Особенности и системные спецификации:

• Доза имплантата
  • Виды As, B, P, BF2, In, Sb, C (применение для других разрабатываемых видов)
• Требования к процессу - Необожженные имплантируемые слои, Поверхностный оксид
• Полностью совместимая (200 мм) автоматика
• Полностью соответствует спецификациям загрязнения уровня 1, включая мини-среду класса 1
• Интерфейс с одним или двумя портами загрузки, способный обрабатывать пластины размером до 200 мм
• Современное программное обеспечение:
  • Операция, основанная на рецепте
  • Связь с хостом
  • Различные уровни доступа
• Опция распознавания образов