Технические характеристики
|
|
LST-2500HD |
|
Область применения |
Производство пластин / Исследования и разработки |
|
Обработка вафель |
Автоматическая загрузка |
|
Позиционирование образца |
Усовершенствованный механизм автофокусировки |
|
Диапазон сканирования |
Сканирование всего диаметра пластины** |
|
Оценка |
Автоматическая оценка параллельно с измерениями |
|
Оголенная зона |
Определение DZ по одному изображению |
|
Функции отчетности (единая точка) |
Плотность, профиль глубины размера, гистограмма размера |
|
Функции отчетности (радиальное сканирование) |
Средняя плотность, средний размер, радиальное распределение DZ |
** исключая область с плохими краями
|
Модель |
Стоимость |
|
LST-2500HD |
По запросу |
JoomShopping Download & Support