Модульная метрологическая система CV/IV FCV-3000N

Технические характеристики

Модульная метрологическая система FCV-3000N CV/IV представляет собой решение для оперативного контроля качества диэлектриков и эпитаксиальных кремниевых пластин для производства запоминающих устройств и силовых устройств с помощью неразрушающего контактного метода измерения. Дополнительная система распознавания образов определяет местонахождение тестовых областей scribe line на образцах с шаблоном.

Система содержит мини-среду класса 1 и соответствует действующим стандартам SEMI и CE.

Система FCV может быть совместима с

• небольшой эластичный металлический зонд для формирования временного затвора на диэлектрической поверхности голых или узорчатых образцов, или
• жесткий зонд, обеспечивающий электрический контакт с металлическими тестовыми подушечками на пластинах с рисунком.

Особенности и системные спецификации:

• Эластичный металлический зонд не повреждает поверхность диэлектрика
• Также доступны твердосплавный зонд для 1-контактных измерений и пара твердосплавных зондов для 2-контактных измерений, что обеспечивает более точное позиционирование.
• Размеры с точностью до 1 мм за исключением краев
• Один или два порта загрузки
• Автоматическая обработка пластин диаметром 200 и 300 мм
• Опция возможности OHT
• Простой в освоении и использовании пользовательский интерфейс SAM, работающий под управлением операционной системы Windows
• Простая передача данных по универсальным сетям с помощью обычного сетевого программного обеспечения.

Перемещением зонда, перемещением вафель, загрузкой или выгрузкой кассеты и предварительной обработкой вафель управляет внутренний компьютер в соответствии с сохраненными рецептурами, определенными пользователем.

Измерительные Возможности:

• Измерение C-V
• Измерение I-V
• Стресс-тест с повышенным током (RCST)
• Стресс-тест на постоянный ток (CCST)
• Стресс-тест с повышенным напряжением (RVST)
• Стресс-тест на постоянное напряжение (CVST)