Технические характеристики
EIR-3000 - это уникальная автоматизированная система измерения толщины epi с инфракрасным спектроскопическим рефлектометром для высокопроизводительного измерения толщины epi. Полностью соответствует соответствующим стандартам SEMI / CE. Линейка продуктов EIR основана на умной и надежной электронике, которая увеличивает время безотказной работы оборудования и сокращает потребности в техническом обслуживании.
Приложения
- Измерения интерферограммы:
- Измерение толщины Si EPI
- Измерение отражения:
- Измерение толщины полнолистовых пластин в стандартах Si, SiC, SOI
- Позволяет проводить более сложный анализ материалов: измерение переходной зоны и более высокой концентрации легирующей примеси в образцах Si, SiC, толщины окисла в образцах SOI.
- Измерение диэлектрического состава и толщины: PSG, BSG
Характеристики
|
|
EIR-3000 |
|
Грузовой порт |
1 или 2 порта загрузки, полная совместимость с OHT |
|
Размеры выборки |
12” |
|
Материалы подложки |
Si |
|
Краевой захват |
Робот с краевым захватом по умолчанию |
|
ФФУ |
Включенный ФФУ |
|
Совместимость с SECS / GEM |
ДА |
Опции
- Варианты применения BPSG и FSG
- Опция измерения передачи:
- Анализ пиков поглощения, таких как пики Si-H и N-H в образцах SiN, связи O-H для мониторинга загрязнения воды
- Измерение массовой примеси Oi
- Сигнальная вышка с 4 цветами
- Ионизатор
|
Модель |
Стоимость |
|
EIR-3000 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support