Технические характеристики
Оборудование представляет собой автоматическую зондовую станцию, тщательно разработанную компанией Hi-Tech, которая имеет функции автоматического выравнивания пластины, автоматического позиционирования и автоматического тестирования начальной точки. В то же время он имеет функцию идентификации идентификатора пластины, которую можно тестировать в одном ядре или непрерывно. Программное обеспечение богато функциями и может предоставлять предприятиям различные тестовые решения, что значительно повышает производительность и эффективность. Области применения охватывают тестирование полупроводниковых пластин, различных устройств, пластин и т. д., I-V, C-V, высоковольтных устройств, оптоэлектронных устройств и других анализов и испытаний характеристик.
Оборудование представляет собой автоматический пробник, разработанный высокотехнологичной компанией. Он имеет функции автоматического выравнивания пластины, автоматического позиционирования и автоматической проверки начальных контрольных точек. Он имеет функцию идентификации идентификатора пластины, которая может быть проверена одноядерным или непрерывным тестом. Программное обеспечение обладает богатыми функциями и может предоставлять предприятиям различные решения для тестирования, значительно повышая производственные мощности и эффективность. Области применения включают тестирование полупроводниковых пластин, различных устройств, полупроводниковых пластин и т. д. для анализа и проверки характеристик ВАХТ, ВАХТ, В, высоковольтных устройств, фотоэлектрических устройств и т.д.
Технические параметры
|
Измеряемый диаметр детали |
4"、5"、6" |
Размер пластины |
4"、5"、6" |
|
Максимальный ход стола |
180мм×240мм |
Максимальная дальность хода |
180мм×240мм |
|
Скорость стола |
≥200 мм/с |
Скорость оси X/Y |
≥200 мм/с |
|
Точность позиционирования |
≤±0,005 мм/160 мм |
Точность позиционирования |
≤±0,005 мм/160 мм |
|
Разрешение шагов |
0,001 мм |
Резолюция |
0,001 мм |
|
Перемещение подложки по оси Z |
10мм |
Перемещение патрона по оси Z |
10мм |
|
Точность позиционирования по оси Z |
≤±0,003 мм |
Точность позиционирования по оси Z |
≤±0,003 мм |
|
Разрешение по оси Z |
0,001 мм |
Разрешение по оси Z |
0,001 мм |
|
Диапазон тета-регулировки |
±10° |
θ Угол поворота |
±10° |
|
Разрешение θ |
0.0013° |
θ Разрешение |
0.0013° |
|
Метод загрузки пластин |
Вручную |
Режим загрузки пластин |
Вручную |
|
Внешние размеры (основной блок). |
700 мм×800 мм×800 мм |
Контурный размер |
700 мм×800 мм×800 мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
TZ-606T Испытательный стенд для специальных измерительных щупов |
По запросу |
JoomShopping Download & Support