Система оснащено двусторонней очисткой, очисткой Zhaosheng и функциями сушки феном drying & N2 для реализации автоматической обработки CMP при высыхании.Функции EPD, такие как трение, вихретоковый режим и оперативное инфракрасное обнаружение, могут быть выбраны в соответствии с требованиями.
Технические характеристики
- Многосекционная полировальная головка;
- Система привода вращения и поворота полировального индентора;
- Управление термостатом;
- Устройство для очистки;
- Хорошая совместимость;
- Система управления с ПЛК;
- Полностью автоматическая система.
Технические параметры
|
Размер пластины |
6-8 дюйма |
|
Количество полировальных дисков |
1 шт. |
|
Давление пластинчатой подушки безопасности |
0-700 г/см2 |
|
Диаметр полировального диска |
530 мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
TPC-2110 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support