Система для чистки пленки щеткой

Оборудование используется для технологической очистки 6 и 8-дюймовых пленочных подложек и эпитаксиальных пластин для удаления остаточных физических частиц на пластине.

Технические характеристики

• Оборудование может быть совместимо с 6 и 8-дюймовыми пластинами;
• Оборудование может осуществлять автоматическое переворачивание и очистку передней и обратной стороны пластины;
• Каждая камера имеет отдельное пространство, чтобы избежать перекрестного загрязнения;
• Технология регулирования поля потока в камере для обеспечения своевременного выпуска выхлопных газов;
• Технология смачивания и самоочистки головки щетки;
• Модульная конструкция программного и аппаратного обеспечения;
• Гибкая схема технологического процесса, простые и быстрые изменения;
• Оборудование занимает небольшую площадь;
• Поддержка расширенной автоматической коробки передач SMIF;
• Программное обеспечение поддерживает интерфейс SECS GEM, поддерживает EAP MES и другие функции;
• Функция устранения статических помех;
• Интерфейс управления с сенсорным экраном главного компьютера ПК и ПЛК.